基本參數(shù)：
型號 | excel661um | excel661uc | excel662um | excel662uc | excel664um | excel664uc |
測量行程 | 650x650x160mm | 650x650x250mm | 650x650x400mm | |||
外形尺寸 | 1311x1604x1608mm | 1311x1604x1788mm | 1311x1604x2088mm | |||
重量 | 1530kg | 1550kg | 1550kg | |||
承載重量 | 100kg | 100kg | 100kg | |||
平臺材質(zhì) | 鋼構(gòu) | |||||
基座材質(zhì) | 花崗巖 | |||||
傳動方式 | unique x&y monorail, monorail linear z | |||||
電控系統(tǒng) | 伺服系統(tǒng): cnc, 鼠標(biāo), 搖桿 | |||||
電源系統(tǒng) | 93-264 vac, 47-63 hz,zui大10 amp | |||||
xy 精度 | uxy=2.5+l/300μm | uxy=2.8+l/300μm | uxy=3.2+l/300μm | |||
z 精度 | ux=2.5+l/150μm | ux=3.0+l/150μm | ux=3.5+l/150μm | |||
xy 重現(xiàn)性 | 2.5μm | 2.8μm | 3.2μm | |||
z 重現(xiàn)性 | 2.5μm | 3.0μm | 3.5μm | |||
xy 加速度 | 1000mm/s2 | |||||
z 加速度 | 500mm/s2 | |||||
xy 移動速度 | 500mm/s | |||||
z 移動速度 | 150mm/s | |||||
光學(xué)尺分辨率 | 0.1μm | |||||
影像 | 黑白 | 彩色 | 黑白 | 彩色 | 黑白 | 彩色 |
光源 | 紅光led | 白光led | 紅光led | 白光led | 紅光led | 白光led |
照明系統(tǒng) | 表面光, 輪廓光,同軸光 | |||||
光學(xué)系統(tǒng)/放大倍率 | 12x 光學(xué)/3x 數(shù)字 zoom / 15x~1200x 放大倍率 | |||||
軟件 | inspec for windows metrology software（2000/xp/vista） | |||||
工作環(huán)境 | 20℃（68℉）±2°,30-80%濕度 | |||||
