wyko nt9800光學輪廓儀-參數、特點、功能、應用 -veeco華東總代理

wyko nt9800 光學輪廓儀在0.1nm 到 10mm 的垂直掃描范圍內提供了非接觸式高速高精度三維表面測量工能，縱向分辨率可達0.1nm。nt9800 采用了veeco的內部實時激光參考信號進行持續的自校準，減小了通常情況下使用標準塊校準設備的需要，并且能夠補償工作環境下系統產生的熱漂誤差。作為業內的第九代wyko nt系列光學輪廓儀產品，nt9800 具有zui高的自動化水平，友好的用戶界面，以及業內的wyko vision分析軟件系統。眾多*技術的集成、經過*實用驗證的測量技術核心以及適合于各種專業應用需要的軟件功能，使 nt9800 成為世界上的光學干涉測量設備，可滿足mems、金屬研究、材料科學、半導體、科研器械等眾多領域科研和生產工作中對高精度自動化表面測量的需要。

技術參數：                                              

1、縱向掃描范圍：0.1nm~1mm （標配）
2、垂直掃描速度：25um/s
3、樣品臺尺寸：200mm

主要特點：

1. 非接觸測量
2. 重復性高
3. 測量精度高