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主要參數
| MPT-2JN/RL010 | MPT-2JN/RL025 | MPT-2JN/RL050 | MPT-2JN/RL100 | MPT-2JN/RL200 | |
| 運動自由度 | X,Y | X,Y | X,Y | X,Y | X,Y |
| 行程范圍 (μm±10%) | 10X10 | 25X25 | 50X50 | 100X100 | 200X200 |
| 位移分辨率 (nm) | 1 | 2.5 | 5 | 10 | 20 |
| 重復定位精度 (nm) | -/10 | -/25 | -/50 | -/100 | -/200 |
| 運動方向推力 (N) | 1000 | 1000 | 1000 | 300 | 300 |
| 運動方向拉力 (N) | 200 | 250 | 250 | 45 | 50 |
| 負載 (Kg) | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
| 固有頻率 (Hz) | 750 | 500 | 400 | 200 | 140 |
| 重量 (g±5%) | 300 | 400 | 800 | 950 | 1300 |
| 工作電壓 (V) | 0～150 | 0～150 | 0～150 | 0～150 | 0～150 |
| 工作溫度范圍 (℃) | -20～80 | -20～80 | -20～80 | -20～80 | -20～80 |
| 外型尺寸 A×B (mm) | 100×100 | 140×106 | 170×120 | 150×150 | 170×170 |
| 外型尺寸 C×D (mm) | 84×84 | 124×90 | 148×104 | 140×140 | 160×160 |
| 運動部分 K×L (mm) | 20×23.5 | 21×24.5 | 23×26.5 | 21×24.5 | 21×24.5 |
| 運動部分 E×F (mm) | 40×40 | 55×55 | 70×70 | 45×45 | 50×50 |
| 運動部分 H×I (mm) | 30×30 | 45×45 | 60×60 | 35×35 | 40×40 |
| 運動部分 G1×G2 (mm) | 40×40 | 53×53 | 60×60 | 80×80 | 90×90 |
| 安裝尺寸 M×N (mm) | 4.5×8 | 4.5×8 | 4.5×8 | 4.5×8 | 4.5×8 |
| 安裝尺寸 J | M4 | M4 | M4 | M4 | M4 |
| 模型下載 | IGS | IGS | IGS | IGS | IGS |
開環工作臺推薦匹配電源型號：HPV-3C0150A0500;閉環工作臺推薦匹配電源型號：PPC-2CR0150
