PPE 成立于 1975 年,總部位于英國布萊克本,在英國和美國設有制造工廠,并在美國、歐洲和亞洲設有銷售辦事處和渠道合作伙伴網絡。該公司的成功基于不斷開發新型彈性體材料以及客戶服務和技術支持。
PPE密封產品介紹
描述
一種半透明米色化合物,具有半結晶的全氟聚合物納米填料,專門為滿足半導體和生物分析行業的需求而開發。與基于氟的化學物兼容,普遍適用于包括光刻、等離子體、PVD、CVD、蝕刻、剝離和清洗在內的濕法和干法半導體工藝。
Perlast® G67P結合了全氟化聚合物骨架、全氟化納米填料系統(無無機填料)和高度氟化的交聯工藝,從而形成了具有純度和化學耐受性的全氟彈性體。
Perlast® G67P的壓縮模量顯著低于傳統的全氟彈性體,使其具有高度的柔順性。因此,在給定的壓縮下,它表現出低反應力,這導致對密封件的應力較小,從而延長了使用壽命。
關鍵屬性
極其純凈 - 不含可能導致顆?;瘑栴}的無機填料。
優異的化學和溫度耐受性。
優異的機械性能。
極低的放氣特性,使其非常適合真空密封應用。
高密封效率。
高材料柔順性,減少表面滲透。
降低的首片效應。
降低總體擁有成本。
典型應用
動態密封 - 閘閥、門密封、擺動閥、ISO閥、粘接門和唇形密封。
靜態密封 - O形圈、主體密封、腔室蓋密封、陰極組件密封、靜電卡盤密封和法蘭配件。
晶圓處理產品 - 末端執行器墊和真空吸盤
適用于:
濕法和干法半導體工藝,包括:
光刻
PVD
CVD
蝕刻
剝離
清洗
激光/光學設備
此系列中的其他材料
Perlast G74P(超純半透明)
Perlast G75H(超純白色)
PPE配件其他常用型號:
PPE 214-G67P
PPE SEAL NEW + ORIGINAL+ ONE YEAR WARRANTY
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PPE密封214-G67P介紹