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QFHDS系列平面式氣浮運動臺應用領域
采用有限元分析優化的氣浮軸承補償設計技術，提高精度的同時，也提高動態性能，用于晶圓加工及檢測、大尺寸飛秒激光加工、測試測量等行業。
QFHDS系列平面式氣浮運動臺結構特點
龍門平面氣浮采用瑞邦精控技術，小孔節流和多孔氣浮相結合的方式，極大提高系統的剛度和穩定性。平面式氣浮結構，使XY軸運動結構共面，反饋傳感器在同一個水平面，相當于單軸運動，減小因疊層引起的阿貝誤差。此結構具有高速響應頻率及位置穩定性，開發的氣浮結構，提高了剛性和負載能力，以滿足高動態響應的要求，可實現高速運動和快速的位置整定。
精度性能
采用無鐵芯直線電機驅動，交叉解耦控制算法保證雙驅軸的運動同步，氣浮導軌實現無摩擦、無振動地平滑移動，重復定位精度±50nm，直線度±0.1μm，平面度±0.2μm，Pitch Yaw ±0.5arc sec滿足超精密加工或測量，由于非接觸式結構，伺服反饋的跟隨誤差有了質地提升，定位精度和重復精度得到了顯著提高。
線纜管理
使用高質量的無塵線纜，優化管線彎曲半徑，防止動作過程中線纜的拉伸影響到氣浮臺的性能，更適合在潔凈車間內使用。
定制化
根據應用可安裝轉臺或晶圓裝卸用的夾具。氣浮導軌可定制陶瓷材質，重復定位精度±15nm。可選用激光尺或激光干涉儀閉環反饋，提升精度性能。可提供抱閘功能，適合高抖動要求的應用。
規格指標
型號 | 單位 | QFHDS-300-300 | QFHDS-500-500 | QFHDS-800-800 | ||||
軸系 | — | X | Y | X | Y | X | Y | |
行程 | mm | 300 | 300 | 500 | 500 | 800 | 800 | |
補償后定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.1 | ±0.25 | ±0.25 | |||
標準值 | ±0.2 | ±0.5 | ±0.5 | |||||
雙向重復定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.05 | ±0.075 | ±0.1 | |||
標準值 | ±0.1 | ±0.15 | ±0.15 | |||||
直線度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.05 | ±0.1 | ±0.2 | |||
標準值 | ±0.5 | ±1 | ±1 | |||||
平面度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.2 | ±0.25 | ±0.3 | |||
標準值 | ±0.5 | ±1 | ±1 | |||||
Pitch Roll Yaw (2) | Plus (1) | arc sec | ±0.5 | ±1 | ±1 | |||
標準值 | ±1 | ±1.5 | ±1.5 | |||||
正交性 | Plus (1) | arc sec | 2 | |||||
標準值 | 5 | |||||||
電子分辨率 (3) | nm | 0.3 或 5（選配） | ||||||
速度 (空載) (4) | m/s | 1 | ||||||
加速度 (空載) (4) | m/s2 | 5,（10, 20, 30 定制） | ||||||
負載 | kg | 50 | ||||||
注：以上為單軸精度指標，在潔凈間內測試，溫度20℃±0.5℃，濕度40%~60%RH，振動等級VC-F，測試點在負載板上25mm處，測試速度10mm/s，Renishaw激光干涉儀測量及自帶分析方法，多軸系統的精度測試與負載尺寸及測試點高度有關，環境的變化會導致精度變化，如要求非標準測試，請咨詢我們。
1. Plus值為高精度指標，是標準值的升級版。
2. 取決于平臺安裝表面的平面度。
3. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細分倍數。
4. 空載條件下指標，速度和加速度取決于負載大小。
