雙波長紫外加工系統
選配：
1、激光器：（以下激光器的兩種或者多種）、二氧化碳激光器、固體激光器（1064、532、355、266、213nm；1030、515、343nm可選）、飛秒激光器（800、400、266nm；1028、514、343、257nm可選）、各種光纖飛秒激光器。
2、多光路切換：同一種激光器還可以出基頻、二倍頻、三倍頻、四倍頻切換輸出，或者多路輸出。
3、各種光束整形器件：光斑勻化器件、S波片、空間光調制器、貝塞爾光束、高斯轉平頂等。
4、振鏡、旋切頭：大尺寸加工，高深徑比孔，傾斜孔等。
