超精密靜壓研磨機的特點:
通過采用技術要素,實現了工件形狀精度、尺寸精度、表面精度等0.1μm的世界。
由于磨削臺固定,磨削砂輪·調整車滑動可動型,臺階更換,供給裝置·排出裝置的簡化成為可能。
■根據磨削砂輪修正裝置的遍歷型旋轉禮服方式的采用使砂輪表面高精度化。(※可選)
●靜止軸輪頭
●調整磨刀石修正裝置帶有自動修正功能。(※可選)
●磨削砂輪滑動通過V-V引導功能和全封閉控制實現高精度定位。(※可選)
●小徑用超精密磨削適合的機械構造。
超精密靜壓研磨機的參數:
研削能力 | 工作物直徑 | ~Φ10mm |
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最大インフィード幅 | 148mm | |
研削砥石 | 寸法 | Φ355×150×Φ177.8mm |
周速 | 2,700m/min(2,420r/min) | |
モータ容量 | 3.7kW | |
軸受 | 靜圧軸ホイールヘッド | |
調整砥石 | 寸法 | Φ205×150×Φ101.6mm |
回転數 | ~300r/min(60Hz) | |
モータ容量 | 0.5kW | |
軸受 | 靜圧軸ホイールヘッド | |
砥石修正:研削砥石側 | 方式 | ※トラバースロータリ |
トラバース駆動 | ※ACサーボモータ | |
切込駆動 | ※ACサーボモータ | |
倣い方式 | テンプレート | |
砥石修正:調整砥石側 | 方式 | ポイントトラバース |
トラバース駆動 | ※ACサーボモータ | |
切込駆動 | ※ACサーボモータ | |
倣い方式 | テンプレート | |
送り機構 | 研削砥石スライド | すべり案內(V-V) |
駆動方式 | ACサーボモータ | |
最小設定単位 | 0.1μm | |
調整砥石スライド | すべり案內 | |
駆動方式 | マイクロハンドル | |
最小設定単位 | 0.02mm/div | |
本體質量 | 3,200kg |