theta-SE 多點(diǎn)量測橢偏儀是一種用於表徵薄膜均勻性的光譜式橢偏儀。它以實(shí)惠的價格在緊湊的空間中配備了先進(jìn)的橢偏量測與電控平臺，達(dá)到多點(diǎn)量測wafer的功能，藉此測得多點(diǎn)橢偏參數(shù)，與多點(diǎn)的薄膜厚度和折射率數(shù)值。 具有體積小、數(shù)據(jù)快速取得、光斑小、軟體操作介面容易等特點(diǎn)，為的多點(diǎn)量測橢偏儀。
多點(diǎn)量測橢偏儀Theta-SE(橢圓儀)特點(diǎn)
- 體積小
- 數(shù)據(jù)取得快速
- 非破壞性量測
- 同時分析厚度，折射率，消光係數(shù)
- 小光斑橢偏儀
- 軟體介面容易操作，內(nèi)建模型完整
- 的多點(diǎn)量測橢偏儀
- 波長範(fàn)圍400nm to 1000nm，即時分光
- VCSEL量測
- 氧化物/氮化物薄膜量測
- 金屬氧化層量測（較薄可透光的金屬）
橢偏儀Theta-SE(橢圓儀)
