商品特色
- 快速的移動軸
- X軸的定位速度可達200 mm / s。
- 比前一代MarSurf PCV和MarSurf CD 120快25倍。
- Z軸移動速度是以前Mahr Z軸的兩倍。
- 比市場上常見機種的X軸快5倍。
- 高動態的智慧型測頭系統
- 透過晶片識別探針臂。
- 標準量測範圍可達70 mm，達100 mm(使用490 mm探針臂)。
- 磁性探頭臂無需使用工具，即可更換探頭臂。
- 探針系統更加的穩定，且可以高動態。
- 可擴充表面粗糙度量測功能。
- 創新的工件夾持治具板
- 治具板390 x 430 mm，孔徑50 mm。
- 治具板Y軸移動可達60 mm。
- 治具板和Y軸調整的組合省去了額外安裝XY工作臺的需求。
- 低工件設定更有利工件的量測，這對量測方式有更多變化。
| MarSurf CD 140 AG 11 | |
| 測桿長度 | 350 mm |
| 量測速度 | 0.1 - 10 mm/s |
| 量測範圍（X 方向） | 0.01~140 mm |
| 解析率 | X軸向- 10 nm W軸向- 20 nm |
| 定位速度 | 0.1 - 200 mm/s (X) |
| 測量範圍 mm | 70 mm（Z 方向，350 mm 探針臂） |
| X軸導軌精度 | 0.8 μm/60mm, 1.0 μm/140mm |
| 測量力 (N) | Z+ 和 Z- 方向 4 mN 至 30 mN，可透過軟體調整 |
