TC-Wafer高低溫探針臺(tái)晶圓測(cè)溫系統(tǒng)

【引言】

      探針臺(tái)是一個(gè)平臺(tái)，上面配有微小的探針。這些探針能夠與晶圓表面接觸，從而實(shí)時(shí)測(cè)量晶圓的溫度。作為晶圓測(cè)試中的關(guān)鍵設(shè)備，探針臺(tái)的運(yùn)作原理在于通過(guò)其探針與被測(cè)器件上的 PAD 點(diǎn)精確對(duì)位，以實(shí)現(xiàn)測(cè)試機(jī)輸出激勵(lì)信號(hào)的互通與信號(hào)反饋，最終獲取和采集測(cè)試數(shù)據(jù)。高低溫真空探針臺(tái)可以很好的滿足極低溫測(cè)試和高溫?zé)o氧化測(cè)設(shè)。在整個(gè)測(cè)試過(guò)程中，工程師們追求以最短的時(shí)間獲得可靠的測(cè)試數(shù)據(jù)。

典型的晶圓高低溫測(cè)試通常涵蓋溫度范圍從 -45°C 至 150°C，而在晶圓可靠性測(cè)試中，溫度可能高達(dá) 300°C。然而，隨著探針臺(tái)進(jìn)行溫度變化，由于熱膨脹和冷收縮效應(yīng)，探針與卡盤之間可能會(huì)出現(xiàn)熱漂移，從而影響探針與 PAD 點(diǎn)之間的對(duì)準(zhǔn)，增加晶圓探針測(cè)試的難度。更有一些晶圓測(cè)試要求在**溫度環(huán)境下，甚至達(dá)到 500°C 以上。隨著溫度的升高，探針臺(tái)也將面臨更大的溫度范圍測(cè)試壓力。

【產(chǎn)品特點(diǎn)及功能】

1、精準(zhǔn)測(cè)溫能力：在半導(dǎo)體制造過(guò)程中，溫度的微小變化都可能對(duì)器件的性能產(chǎn)生顯著影響。我們的探針臺(tái)晶圓測(cè)溫系統(tǒng)通過(guò)*的傳感技術(shù)，實(shí)現(xiàn)高度精準(zhǔn)的溫度測(cè)量，為生產(chǎn)過(guò)程提供即時(shí)、準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)支持。

2、廣泛適應(yīng)性：不同制程、不同材料、不同溫度要求，我們都有您所需！我們的系統(tǒng)設(shè)計(jì)靈活多樣，能夠適應(yīng)各種工藝條件和應(yīng)用場(chǎng)景，為您的生產(chǎn)線帶來(lái)更大的便利。

3、可靠性與穩(wěn)定性：我們深知在半導(dǎo)體生產(chǎn)中，穩(wěn)定性和可靠性是不可妥協(xié)的。因此，我們的系統(tǒng)經(jīng)過(guò)嚴(yán)格測(cè)試和驗(yàn)證，以確保在長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行中保持出色的性能表現(xiàn)。

TC-Wafer高低溫探針臺(tái)晶圓測(cè)溫系統(tǒng)

智測(cè)電子TC-Wafer高低溫探針臺(tái)晶圓測(cè)溫系統(tǒng)應(yīng)用于高低溫晶圓探針臺(tái)，測(cè)量精度可達(dá)mk級(jí)別，可以多區(qū)測(cè)量晶圓特定位置的溫度真實(shí)值，也可以精準(zhǔn)描繪晶圓整體的溫度分布情況，還可以監(jiān)控半導(dǎo)體設(shè)備控溫過(guò)程中晶圓發(fā)生的溫度變化，了解升溫、降溫以及恒溫過(guò)程中設(shè)備的有效性。

智測(cè)電子還提供整個(gè)實(shí)驗(yàn)室過(guò)程的有線溫度計(jì)量，保證溫度傳感器的長(zhǎng)期測(cè)量精度。

合肥智測(cè)電子致力于高精度溫測(cè)、溫控設(shè)備的生產(chǎn)和研發(fā)定制，為半導(dǎo)體設(shè)備提供可靠的國(guó)產(chǎn)解決方案。