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8寸晶圓等離子去膠機

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱深圳市東信高科自動化設備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號TS-PR08
  • 所  在  地
  • 廠商性質生產廠家
  • 更新時間 2023-07-27
  • 訪問次數406
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深圳市東信高科自動化設備有限公司始創于1998年,是國內早期批從事真空及大氣低溫等離子體(電漿) 技術、射頻及微波等離子體技術研發、生產銷售于一體的國家,隸屬于東信高科等離子科技(香港)控股有限公司,總部設于香港。目前公司設立有等離子事業部,超聲清洗事業部,自動化設備事業部,塑膠焊接事業部。產品涵蓋等離子體表面處理,超聲波清洗、電鍍、制冷等領域。為適應國內外市場對等離子體表面處理工藝的需求,東信高科等離子事業部聯合德國等離子體研究等離子研究所,德國Diener公司實驗室等國內外科研機構,投入大量資金,先后研發出了等離子清洗機、等離子刻蝕機、等離子去膠機、等離子表面處理設備、電漿清洗機及常壓等離子打磨、拋光系統等自動化設備。產品廣泛應用于包裝、塑料制品、通訊、汽車、家電、光電、紡織、半導體及精密制造等行業,在表面涂裝、表面粘接、表面清潔方面尤為突出。經過近二十年的發展,不斷革新技術與產品,成功的推動了我國低溫等離子技術在等離子體塵埃、晶體、材料合成、微米納米技術、化工、環保、表面聚合、表面接枝、表面刻蝕、表面催化、金屬滲氮、化學合成和氣、液、固態物質處理方面的發展。公司憑借強大的科研實力,已成功申請了多項技術。公司先后與富士康公司、美國AAC集團、愛普生電子、中國兵器集團、中國電子科技集、、東南大學光電實驗室、深圳比亞迪股份有限公司等世界500強公司和研究單位達成戰略合作協議,成為上述企業和單位的超聲波、等離子處理設備供貨商。公司秉承誠信、拼搏、創新的精神理念,以人為本、高效服務的經營理念,立足中國,面向,打的等離子表面處理設備供應商和服務商!
超聲波模具拋光機,超聲波清洗機,水滴角測量儀
產品簡介: RIE反應離子刻蝕模式,處理速率更高
8寸晶圓等離子去膠機 產品信息

產品參數:

型號 TS-PR08等離子去膠機
適用尺寸
8寸及以下晶圓(可定制)
反應氣體
3路,(氧氣、氬氣、氮氣等非腐蝕性氣體)
真空測定系統
皮拉尼真空硅管
工作真空度
30Pa以內
氣體流量控制
0-500mL/min MFC氣體質量流量計精確控制流量
等離子電源
13.56MHz/1000W連續調節
電極固定方式
水冷固定電極
有效處理尺寸
φ210(mm)
電極尺寸
Φ230(mm)
設備外形尺寸
W635×D665×H1250(mm) 不含三色燈高度
水冷機 1P
電源
AC220V,50/60Hz

產品介紹:

低成本、高性能、實驗性等離子去膠機,手動裝載晶圓片,應用于單片晶圓光刻膠灰化、殘膠去除及表面清洗工藝,適用于大學、硏究院所、企業硏發機構及小批量生產廠商。

?處理方式:RIE模式

?樣片數量及尺寸:單片8英寸以下

?刻蝕材料:Si、SiO2、SiN、Poly-Si、GaAs、Pt、聚酰亞胺等各種材料的蝕刻

?刻蝕腔體:高真空系統

 ?刻蝕不均勻性:±3%-±6%

?刻蝕速率:0.1-1um/min (視具體材料與工藝)

關鍵詞:流量計

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