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上海伯東 渦輪分子泵 HiPace 300
上海伯東德國普發渦輪分子泵 Pfeiffer HiPace 300 抽速可達到 260 l/s 高性能渦輪分子泵. 分子泵緊湊設計保證更高性能. HiPace 300 對所有氣體的高抽速和更高壓縮比使其廣泛應用于真空行業. 渦輪分子泵 HiPace 300 通過保護等級 IP54, 半導體 S2, UL / CSA 認證. 通過控制器監控運算數據盡可能保證分子泵的安全性. 渦輪分子泵 HiPace 300 任意位置安裝. 可選風冷或水冷. 多種配件可選.
上海伯東 渦輪分子泵 HiPace 300 特性
分子泵控制器可選 TC 400, TC 110, TCP 350.
防護類型 IP54 滿足工業應用
準 S2 和 UL/CSA 認證
監控運行數據保障分子泵運行安全性
另外提供 HiPace 300 P 耐粉塵系列, 因其能抵抗工業粉塵和微小粒子而廣泛應用于工業領域和 HiPace Plus 系列專為掃描電子顯微鏡 (掃描電鏡 SEM) 和質譜分析行業量身定做的產品.
Pfeiffer 渦輪分子泵 HiPace 300 技術規格
進氣口 | DN 100 ISO-K | DN 100 CF-F | DN 100 ISO-F | DN 100 ISO-K | DN 100 CF-F | DN 100 ISO-F | |
圖片 | |||||||
分子泵控制器 | 型號 | 標配 | 標配 | 標配 | 選配 | 選配 | 選配 |
抽速 | Ar L/S | 255 | 255 | 255 | 255 | 255 | 255 |
H2 L/S | 220 | 220 | 220 | 220 | 220 | 220 | |
He L/S | 255 | 255 | 255 | 255 | 255 | 255 | |
N2 L/S | 260 | 260 | 260 | 260 | 260 | 260 | |
壓縮比 | Ar | 1X1011 | 1X1011 | 1X1011 | 1X1011 | 1X1011 | 1X1011 |
H2 | 9X105 | 9X105 | 9X105 | 9X105 | 9X105 | 9X105 | |
He | 1X108 | 1X108 | 1X108 | 1X108 | 1X108 | 1X108 | |
N2 | 1X1011 | 1X1011 | 1X1011 | 1X1011 | 1X1011 | 1X1011 | |
全轉速時氣體流量 | Ar hPa l/s | TC 400: 7 | TC 400: 7 | TC 400: 7 | 4 | 4 | 4 |
H2 hPa l/s | TC 400: 14 | TC 400: 14 | TC 400: 14 | >14 | >14 | >14 | |
He hPa l/s | TC 400: 20 TC 110: 8 | TC 400: 20 TC 110: 8 | TC 400: 20 TC 110: 8 | 11 | 11 | 11 | |
N2 hPa l/s | TC 400: 14 TC 110: 5 | TC 400: 14 TC 110: 5 | TC 400: 14 TC 110: 5 | 7 | 7 | 7 | |
極限壓力 | hPa | <1X10-7 | <5X10-10 | <1X10-7 | <1x10-7 | <5x10-10 | <1x10-7 |
大預抽真空 | N2 hPa | TC 400: 20 | TC 400: 20 | TC 400: 20 | 22 | 22 | 22 |
電壓 | VDC | 24 | 24 | 24 | 24 | 24 | 24 |
大電流 | A | TC 400: 12.5 | TC 400: 12.5 | TC 400: 12.5 | - | - | - |
轉速± 2 % | RPM | 60000 | 60000 | 60000 | 60000 | 60000 | 60000 |
聲噪 | dB(A) | ≤50 | ≤50 | ≤50 | ≤50 | ≤50 | ≤50 |
允許大磁場 | mT | 5.5 | 5.5 | 5.5 | 5.5 | 5.5 | 5.5 |
啟動時間 | min | TC 400: 1.8 | TC 400: 1.8 | TC 400: 1.8 | 2.5 | 2.5 | 2.5 |
重量 | kg | TC 400: 6.7 | TC 400: 8.7 TC 110: 8.2 | TC 400: 7 TC110: 6.5 | 5.8 | 7.8 | 6.1 |
* 選擇 TCP 350, 可以使分子泵在輻射環境中使用
* P 系列: 耐粉塵
* PLUS 系列: 極微振動,雜散磁場低
渦輪分子泵 HiPace 300 H 技術規格
進氣口 | DN 100 ISO-K | DN 100 CF-F | DN 100 ISO-F | DN 100 ISO-K | DN 100 CF-F | DN 100 ISO-F | |
圖片 | |||||||
分子泵控制器 | 型號 | 標配 | 標配 | 標配 | 選配 | 選配 | 選配 |
抽速 | Ar L/S | 255 | 255 | 255 | 255 | 255 | 255 |
H2 L/S | 220 | 220 | 220 | 220 | 220 | 220 | |
He L/S | 255 | 255 | 255 | 255 | 255 | 255 | |
N2 L/S | 260 | 260 | 260 | 260 | 260 | 260 | |
壓縮比 | Ar | 1X1013 | 1X1013 | 1X1013 | 1X1013 | 1X1013 | 1X1013 |
H2 | 1X107 | 1X107 | 1X107 | 1X107 | 1X107 | 1X107 | |
He | 2.5X109 | 2.5X109 | 2.5X109 | 2.5X109 | 2.5X109 | 2.5X109 | |
N2 | 1X1013 | 1X1013 | 1X1013 | 1X1013 | 1X1013 | 1X1013 | |
全轉速時氣體流量 | Ar hPa l/s | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
H2 hPa l/s | 10 | 10 | 10 | 10 | 10 | 10 | |
He hPa l/s | 3.5 | 3.5 | 3.5 | 3.5 | 3.5 | 3.5 | |
N2 hPa l/s | 1.5 | 1.5 | 1.5 | 1.5 | 1.5 | 1.5 | |
極限壓力 | hPa | <1X10-7 | <5X10-10 | <1X10-7 | <1x10-7 | <5x10-10 | <1x10-7 |
*大預抽真空 | N2 hPa | 30 | 30 | 30 | 30 | 30 | 30 |
電壓 | VDC | 24 | 24 | 24 | 24 | 24 | 24 |
*大電流 | A | 7.5A | 7.5A | 7.5A | 7.5A | 7.5A | 7.5A |
轉速± 2 % | RPM | 60000 | 60000 | 60000 | 60000 | 60000 | 60000 |
聲噪 | dB(A) | ≤50 | ≤50 | ≤50 | ≤50 | ≤50 | ≤50 |
允許*大磁場 | mT | 5.5 | 5.5 | 5.5 | 5.5 | 5.5 | 5.5 |
啟動時間 | min | 3.5 | 3.5 | 3.5 | 3.5 | 3.5 | 3.5 |
重量 | kg | 6.2 | 8.2 | 6.5 | 5.8 | 7.8 | 6.1 |
* 系列: 更高的壓縮比,尤其適用于輕質氣體
Pfeiffer 渦輪分子泵 HiPace 300 套裝:
上海伯東提供完整的分子泵套裝供您選擇, 包含一臺 HiPace 300 分子泵主機和控制電源等, 分子泵套裝滿足基本的應用, 可以安裝在所有情況下并輕松調試渦輪分子泵. 套裝內配置如下:
分子泵 | 分子泵電源與控制器連接線 | 風扇 | OmniControl 300 | 接口電纜, M12 m 直型/M12 m 直型, 3 m |
接口電纜, M12 m 直型/M12 m 直型, 3 m |
標準款渦輪分子泵 HiPace 300 在售型號
對所有氣體的高抽吸能力和更高壓縮,適合所有標準應用
進氣口 | 分子泵控制器 | I/O接口 | 集成電源包 | 資料下載 |
DN 100 ISO-K | TC 400 | RS-485, 遠程 | - | 中文 PDF |
DN 100 CF-F | TC 400 | RS-485, 遠程 | - | 中文 PDF |
DN 100 ISO-F | TC 400 | RS-485, 遠程 | - | 中文 PDF |
DN 100 ISO-K | TC 110 | RS-485, 遠程 | - | 中文 PDF |
DN 100 CF-F | TC 110 | RS-485, 遠程 | - | 中文 PDF |
DN 100 ISO-F | TC 110 | RS-485, 遠程 | - | 中文 PDF |
DN 100 ISO-K | 另配 TCP 350 | - | - | 中文 PDF |
DN 100 CF-F | 另配 TCP 350 | - | - | 中文 PDF |
DN 100 ISO-F | 另配 TCP 350 | - | - | 中文 PDF |
DN 100 ISO-K | TC 400 | RS-485, 遠程, Profibus | - | 中文 PDF |
DN 100 CF-F | TC 400 | RS-485, 遠程, Profibus | - | 中文 PDF |
DN 100 ISO-F | TC 400 | RS-485, 遠程, Profibus | - | 中文 PDF |
DN 100 ISO-K | TC 110 | RS-485, 遠程, Profibus | - | 中文 PDF |
DN 100 CF-F | TC 110 | RS-485, 遠程, Profibus | - | 中文 PDF |
DN 100 ISO-F | TC 110 | RS-485, 遠程, Profibus | - | 中文 PDF |
DN 100 ISO-K | TC 110 | RS-485, 遠程 | 是 | 中文 PDF |
DN 100 CF-F | TC 110 | RS-485, 遠程 | 是 | 中文 PDF |
DN 100 ISO-F | TC 110 | RS-485, 遠程 | 是 | 中文 PDF |
DN 100 ISO-K | TC 400 | RS-485, 遠程 | - | 中文 PDF |
DN 100 CF-F | TC 400 | RS-485, 遠程 | - | 中文 PDF |
DN 100 ISO-F | TC 400 | RS-485, 遠程 | - | 中文 PDF |
耐粉塵渦輪分子泵 HiPace 300P 在售型號
適用于鍍膜及半導體工藝以及諸如電子束焊接裝置等易受灰塵影響的工業應用
進氣口 | 分子泵控制器 | I/O接口 | 集成電源包 | 資料下載 |
DN 100 ISO-K | TC 400 | RS-485, 遠程 | - | 中文 PDF |
DN 100 CF-F | TC 400 | RS-485, 遠程 | - | 中文 PDF |
DN 100 ISO-F | TC 400 | RS-485, 遠程 | - | 中文 PDF |
低振動渦輪分子泵 HiPace 300 PLUS 在售型號
極微振動,雜散磁場低,適用于高要求分析設備,例如電子顯微鏡
進氣口 | 分子泵控制器 | I/O接口 | 集成電源包 | 資料下載 |
DN 100 ISO-K | TC 110 | RS-485, 遠程 | - | 中文 PDF |
DN 100 CF-F | TC 110 | RS-485, 遠程 | - | 中文 PDF |
DN 100 ISO-F | TC 110 | RS-485, 遠程 | - | 中文 PDF |
更高的壓縮比渦輪分子泵 HiPace 300 H 在售型號
更高的壓縮比,尤其適用于輕質氣體,實現超高真空
進氣口 | 分子泵控制器 | I/O接口 | 集成電源包 | 資料下載 |
DN 100 ISO-K | TC 110 | RS-485, 遠程 | - | 中文 PDF |
DN 100 CF-F | TC 110 | RS-485, 遠程 | - | 中文 PDF |
DN 100 ISO-F | TC 110 | RS-485, 遠程 | - | 中文 PDF |
DN 100 ISO-K | 另配 TCP 350 | - | - | 中文 PDF |
DN 100 CF-F | 另配 TCP 350 | - | - | 中文 PDF |
DN 100 ISO-F | 另配 TCP 350 | - | - | 中文 PDF |
渦輪分子泵應用 HiPace 300
鍍膜: 光伏, CD/ DVD/ PVD
工業: 燈管制造
研發: 納米技術, 生物技術
分析儀器: 電子顯微鏡, 檢漏, 小型質譜, 表面分析, 殘余氣體分析
半導體: PVD, CVD, Beamline, Inspection
上海伯東 Pfeiffer 渦輪分子泵抽速范圍 10 至 2700 L/S, 轉速*高 90,000 rpm, 極限真空*大 1E-11 mbar, 對小分子氣體具有更高的壓縮比, 實踐證明 Pfeiffer 渦輪分子泵運行時間可以達到 100,000 小時! 普發分子泵提供復合軸承分子泵和五軸全磁浮分子泵二大系列滿足不同應用, 推薦搭配 Pfeiffer 旋片泵和干泵共同使用. 推薦分子泵典型應用 >>
若您需要進一步的了解分子泵詳細信息, 請聯絡上海伯東鄧女士