技術特點：
1. 采用靜承+氣浮軸承，可靠性更高；
2. 氣浮軸承兼具密封功能，密封氣流開啟時液壓油無泄漏；
3. 采用水溶性液壓油，可用純水清洗；
4. 轉臺臺面直徑250毫米，配備真空吸盤后可用于12吋Sic晶圓磨削；
5. 高剛度：主軸軸向剛度大于1000 N/µm，轉臺軸向剛度大于3000 N/µm；
6. 高精度：主軸、轉臺軸向/徑向回轉精度< 0,25µm；
7. 具備優秀的減振特性，成品率更高 ；
8. 靜承無磨損，機床精度長期保持；
9. 靜承采用的PM流量控制器調節油腔流量，高承載，高剛度 。
|
| 靜壓主軸 | 靜壓轉臺 |
| 供油壓力 | 50 bar | 50 bar |
| 液壓油粘度 | HLP-PAO 5 | HLP-PAO 46 |
| 轉速 | 4000 rpm | 600 rpm |
| 徑向承載 | 1.000 N | 1.000 N |
| 軸向承載 | +/- 1000 N | 1000 N |
| 徑向油膜剛度 | 450 N/µm | 600N/µm |
| 軸向油膜剛度 | 1000 N/µm | 3000N/µm |
| 液壓油流量30°C | 3-8 l/min | 1.7 l/min |
