在線片式真空等離子清洗機(jī)產(chǎn)品參數(shù)：
| 電源系統(tǒng) | 功率 | F13.56MHz 0-600W （射頻電源） |
| 真空系統(tǒng) | 真空管路 | 全不銹鋼管路，以及高強(qiáng)度真空波紋管 |
| 材質(zhì) | 鋁合金 | |
| 密封性 | 一體成型 | |
| 腔體體積 | 6L | |
| 適用產(chǎn)品尺寸 | 180-280mmX25-90mm(長(zhǎng)x寬) | |
| 適用料盒尺寸 | 180-290mmX25*93X250mm(長(zhǎng)X寬X高) | |
| 通道數(shù)量 | 標(biāo)準(zhǔn)4條（可定制） | |
| 電極板大小 | 340x500mm | |
| 等離子激發(fā)時(shí)間 | 等離子激發(fā)清洗時(shí)間 | 5Sec |
| 產(chǎn)量 | UPH | 480（蛇皮時(shí)間10S，4條流道時(shí)） |
| 清洗能力 | 水滴角 | 水滴角測(cè)試＜12° |
| 流量范圍 | 0-300SCCM | |
| 工藝氣體 | 標(biāo)配2路，可定制 氬氣： 3bars 1L/min 氮?dú)?: 3bars 1L/min | |
| 其它參數(shù) | 電源 | AC 380V 5.5KW |
| 外形尺寸 | 1600mmX1200x1600 |
在線片式真空等離子的產(chǎn)品特點(diǎn)：
1、軌道寬度可調(diào)，可選擇同時(shí)清洗四種不同寬度的產(chǎn)品；
2 、片式清洗，清洗效果更明顯；
3 、單邊上下料結(jié)構(gòu)，無(wú)需更換料盒，清洗后的產(chǎn)品自動(dòng)回到原來(lái)的料盒，杜絕混批；
4、 雙清洗托盤，一個(gè)清洗的同時(shí)另一個(gè)備料，提高生產(chǎn)效率；
5 、一鍵更換產(chǎn)品，設(shè)備所有參數(shù)及設(shè)置自動(dòng)加載，無(wú)需人工設(shè)定；
6、手動(dòng)清洗與自動(dòng)清洗均一鍵操作，操作使用更簡(jiǎn)單；
7、 產(chǎn)品安全多重設(shè)計(jì)，確保不會(huì)造成產(chǎn)品變形損壞；
8 、四條通道每個(gè)地方獨(dú)立檢測(cè)，準(zhǔn)確判斷問(wèn)題所在；
9 、設(shè)備安全多重設(shè)計(jì)，確保人身安全；
10、 模塊化設(shè)計(jì)，國(guó)際品牌配置，確保設(shè)備穩(wěn)定運(yùn)行。
在線片式真空等離子清洗機(jī)具有成本較低、容易使用、維護(hù)及保養(yǎng)費(fèi)用低、環(huán)保等優(yōu)點(diǎn)，可應(yīng)用于芯片粘結(jié)工藝前、引線鍵合和覆晶封裝工藝前的表面處理。與傳統(tǒng)獨(dú)立式的等離子清洗機(jī)相比，在線片式真空等離子清洗機(jī)具有自動(dòng)化程度高、清洗效率高、設(shè)備潔凈度高、適應(yīng)范圍廣等優(yōu)點(diǎn)，適用于大規(guī)模全自動(dòng)化生產(chǎn)。
