
機(jī)床配置
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- 超高精度的空氣靜壓主軸 自主技術(shù)
- 超高精度的氣體靜壓導(dǎo)軌 自主技術(shù)
- 超精密控制系統(tǒng) 自主技術(shù)
- 超高分辨率反饋 21.25PM
- 超順滑的直線電機(jī)控制
- 迅速控制的氣動夾緊機(jī)構(gòu)
- 自主設(shè)計(jì)的控制軟件和界面
- 觸摸屏設(shè)計(jì)
技術(shù)參數(shù)
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- X軸(垂直于主軸)
- 行程200mm
- 直線度0.1μm/100mm
- 分辨率1nm
- Z軸(沿主軸軸線)
- 行程150mm
- 直線度0.1μm/100mm
- 分辨率1nm
- 主軸(安裝于Z軸)
- 徑向跳動0.05μm,軸線跳動0.05μm
- 主軸轉(zhuǎn)速:10-6000rpm
使用環(huán)境要求
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1.要求隔震地基,設(shè)備在溫度:20±2℃,一天內(nèi)溫度梯度小于2℃。濕度:<50%的環(huán)境下使用。2.空氣過濾精度:0.5um。除油、除水。
3.空氣壓力:≥0.6MPa。
4.空氣流量: ≥0.3m³/min。
5.電源:380V,設(shè)備功率:≤5KW。