基本參數
旋轉工作臺：
回轉精度：（0.025+6H/10000）μm
旋轉工作臺軸承類型：氣浮
旋轉速度：6rpm
工作臺有效直徑：180mm
較大承載：10kg
較大工件直徑（回轉直徑）：420mm
較大測量直徑：250mm
垂直軸（Z軸）：
垂直移動：320mm
垂直移動方式：電動
較大檢測深度：100mm（較小內徑：35mm）
水平臂（X軸）：
水平移動：100mm
突出量：25mm
水平移動方式：手動
檢測器：
采集器件：圓光柵
圓周采樣點數：4096點
傳感器類型：電感傳感器
傳感器量程：±300μm
傳感器分辨率：較高0.001μm
