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機械手指

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱北京銳潔機器人科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質生產廠家
  • 更新時間 2022-12-16
  • 訪問次數1159
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北京銳潔機器人科技有限公司位于北京亦莊經濟技術開發區,是由留學歸國技術人員所創辦的高科技技術型企業。  公司核心技術人員擁有在國內外半導體行業20年的實際從業經驗,能夠設計可用于半導體設備的各種自動化設備。公司當前的主力產品為小尺寸晶圓自動裝卸載系統以及日本潔凈機械手臂專業廠家JEL生產的各種潔凈機械手臂等。  公司自主獨立研發的小尺寸晶圓自動裝卸載系統具有占地面積小、自動化程度高的特點,能夠有效的提高產線效率,降低生產成本; JEL公司生產的各種潔凈機械手臂具有潔凈度高、性價比好、穩定性強的特點,能夠滿足中國客戶需求,適合當前的中國市場。  作為日本JEL公司在中國地區的合作伙伴,我公司和JEL公司將持續不斷的為中國市場提供專業、高性價比的產品以及優質、快捷的服務。
潔凈機械手臂
半導體后道工序設備
機械手指 產品信息
特點

    可用于6、8、12寸晶圓的非接觸式End-Effector,非常適合減薄晶圓,廣泛應用于半導體后道工序設備
    通過使用晶圓樣品進行實際的驗證傳輸測試,可以按照客戶的需要,針對不同尺寸,翹曲量,晶圓厚度的任意形狀的晶圓進行機械手指的定制設計

  • 利用伯努利原理的氣流壓力差吸附晶圓
  • 利用橡膠墊和晶圓之間的摩擦力,防止晶圓在傳輸過程中可能發生的位置偏移
  • 晶圓表面和機械手指的橡膠墊發生接觸,能夠同時對應不同規格的晶圓(※特殊情況的組合下,存在無法實現不同尺寸晶圓兼顧的情況),相對于非接觸式機械手指,接觸式機械手指的厚度可以做到更薄
  • 相對于真空吸附方式的手指,伯努利原理機械手指的吸附力會分散到整個晶圓表面,更適合用于減薄晶圓的傳輸

應用設備實例

半導體后道工序設備

規格
材質
表面處理 黑色表面陽極氧化
晶圓固定方式 旋風式真空吸盤提供吸力,橡膠墊(H-NBR)用于晶圓固定
(和晶圓表面接觸部分的材質可以定制生產)
配套設施 30~80 L/min(隨搬運物的尺寸,厚度變化)

關鍵詞:機械手

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