中圖儀器SJ6000高精度測量激光干涉儀采用高速干涉信號采集、調理及細分技術,可實現高4m/s的測量速度,以及納米級的分辨率。

結合不同的光學鏡組,SJ6000高精度測量激光干涉儀可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在動態測量軟件配合下,還可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測,以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態分析,如振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。
性能特點
1. 自動采集數據,避免人為讀數誤差,精度高;
2. 測量過程全自動化,效率高;
3. 可測量任意方向的回轉軸,可測量任意角度間隔,通用性強;
4. 可自動生成誤差曲線和補償數據,根據不同標準自動計算定位精度結果,無需人工計算。

SJ6000激光干涉儀以干涉技術為核心,其光波可直接對米進行定義。采用激光雙縱模熱穩頻技術,可實現高精度、抗擾力強、長期穩定性好的激光頻率輸出;采用高精度環境補償模塊,可實現激光波長和材料的自動補償;干涉鏡與主機分離設計,避免干涉鏡受熱影響,保證干涉光路穩定可靠。具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優點,以光波為載體,其光波波長可以直接對米進行定義,是高精度、高靈敏度測量儀器,廣泛應用于精密機械設備、精密檢測儀器、三坐標、機器人、3D打印設備、機床、自動化設備、線性位移平臺等領域的線性測量。