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CMS系列氣體流量計(jì)是檢測(cè)部分采用感熱式流速傳感器“MicroFlow™傳感器”的質(zhì)量流量計(jì)。這一傳感器直接安裝于流體管路中,可以測(cè)極低流速的流體流量。利用微型機(jī)械技術(shù)制造的小型流速傳感器和高度的集成電路設(shè)計(jì)技術(shù)的結(jié)合,實(shí)現(xiàn)高精度和寬量程。并且,易于使用,可靠性高。
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