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NPE-3500 PECVD等離子體化學氣相沉積系統

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱那諾—馬斯特中國有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地國外
  • 廠商性質生產廠家
  • 更新時間 2022-12-07
  • 訪問次數403

那諾-馬斯特中國有限公司成立于2015年4月,是服務大中華區(包含中國大陸,香港,中國臺灣和澳門)的客戶,同時我們在中國大陸設有專門的服務辦公室,提供銷售和售后技術服務。


那諾-馬斯特中國的主要產品包括薄膜沉積設備、薄膜生長設備干法刻蝕設備、兆聲濕法清洗設備及太空模擬測試設備等等。Nano-Master的前身是那諾-馬斯特美國,該公司是法國那諾-馬斯*限公司于1992年在美國所創立的全資子公司,是一家國ji領xian的缺陷檢測和高速鍍層測量的計量公司。自從1993年開始Birol Kuyel博士全面接管那諾-馬斯特美國并正式更名。


自2001年Nano-Master開始設計開發薄膜應用方面的設備,正式面世的系統依次是磁控濺射、PECVD、晶圓/掩模版清洗系統…。應用領域涵蓋了半導體、MEMS、光電子學、納米技術和光伏等。我們的設備包含用于二氧化硅、氮化硅、類金剛石和CNT沉積的PECVD,用于InGaN、AlGaN生長的PA-MOCVD,濺射鍍膜(反應濺、共濺 、組合濺),熱蒸發和電子束蒸發,離子束刻蝕和反應離子刻蝕,原子層沉積,兆聲清洗以及光刻膠剝離等。三十年左右的時間內Nano-Master已經發展成為全qiu薄膜設備的供應商,已售出的幾百套設備分布于20多個不同國家的大學、研發中心和國家重點實驗室。


我們聘用技術熟練并具有良好教育背景的設計和制造工程師、應用工程師、服務工程師、技術支持人員,使得公司擁有yi流的服務團隊。作為薄膜工藝的設備提供商,我們的目標是提供高品質的服務并始終維持zui高水平的集成度。



ALD,PECVD,RIE,磁控濺射,熱蒸鍍,電子束,離子束,熱真空試驗,晶圓清洗機,PA-MOCVD
產地 進口 售后保修期 12個月
銷售區域 全國
NPE-3500 PECVD等離子體化學氣相沉積系統概述:NANO-MASTER PECVD系統能夠沉積高質量的SiO2, Si3N4, 或DLC薄膜z大可達12” 直徑的基片上.該系統采用淋浴頭電J或中空陰J射頻等離子源來產生等離子,具有分形氣流分布的優S.樣品臺可以通過RF或脈沖DC產生偏壓。并可以支持加熱和循環冷卻水的冷卻.使用250l/sec渦輪分子泵及3.5 cfm的機械泵,腔體可以達到
NPE-3500 PECVD等離子體化學氣相沉積系統 產品信息

NPE-3500 PECVD等離子體化學氣相沉積系統概述:NANO-MASTER PECVD系統能夠沉積高質量的SiO2, Si3N4, 或DLC薄膜z大可達12” 直徑的基片上.該系統采用淋浴頭電J或中空陰J射頻等離子源來產生等離子,具有分形氣流分布的優S.樣品臺可以通過RF或脈沖DC產生偏壓。并可以支持加熱和循環冷卻水的冷卻.使用250l/sec渦輪分子泵及3.5 cfm的機械泵,腔體可以達到低至10-7 torr的真空。標準配置包含1路惰性氣體、3路活性氣體管路和4個MFC.帶有*氣體分布系統的平面中空陰J等離子源使得系統可以滿足廣大范圍的要求,無論是等離子強度、均勻度,還是要分別激活某些活性組份,這樣系統可以覆蓋z廣的可能性來獲得各種沉積參數。


NPE-3500-1.png


NPE-3500 PECVD等離子體化學氣相沉積系統應用:

  • 等離子誘導表面改性:就是通常所說的用等離子實現表面改性(如親水性、疏水性等)

  • 等離子清洗:去除有機污染物

  • 等離子聚合:對材料表面產生聚合反應

  • 沉積二氧化硅、氮化硅、DLC(類金剛石),以及其它薄膜

  • CNT(碳納米管)和石墨烯的選擇性生長:在需要的位置生長CNT或石墨烯。


特點:

  • 緊湊型獨立式系統

  • 不銹鋼或鋁制腔體

  • J限真空可達10-7Torr

  • RF淋浴頭,HCD或微波等離子源

  • 高達12”(300mm)直徑的樣品臺

  • RF射頻偏壓樣品臺

  • 水冷樣品臺

  • 可加熱到的800 °C樣品臺

  • 加熱的氣體管路

  • 加熱的液體傳送單元

  • 抗腐蝕的渦輪分子泵組

  • 1路載體氣體以及3路反應氣體,帶MFC

  • 基于LabView軟件的PC計算機全自動控制

  • 菜單驅動,4級密碼訪問保護

  • 完整的安全聯鎖



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