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NSC-4000(M)磁控濺射系統

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱那諾—馬斯特中國有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地國外
  • 廠商性質生產廠家
  • 更新時間 2022-12-06
  • 訪問次數374

那諾-馬斯特中國有限公司成立于2015年4月,是服務大中華區(包含中國大陸,香港,中國臺灣和澳門)的客戶,同時我們在中國大陸設有專門的服務辦公室,提供銷售和售后技術服務。


那諾-馬斯特中國的主要產品包括薄膜沉積設備、薄膜生長設備干法刻蝕設備、兆聲濕法清洗設備及太空模擬測試設備等等。Nano-Master的前身是那諾-馬斯特美國,該公司是法國那諾-馬斯*限公司于1992年在美國所創立的全資子公司,是一家國ji領xian的缺陷檢測和高速鍍層測量的計量公司。自從1993年開始Birol Kuyel博士全面接管那諾-馬斯特美國并正式更名。


自2001年Nano-Master開始設計開發薄膜應用方面的設備,正式面世的系統依次是磁控濺射、PECVD、晶圓/掩模版清洗系統…。應用領域涵蓋了半導體、MEMS、光電子學、納米技術和光伏等。我們的設備包含用于二氧化硅、氮化硅、類金剛石和CNT沉積的PECVD,用于InGaN、AlGaN生長的PA-MOCVD,濺射鍍膜(反應濺、共濺 、組合濺),熱蒸發和電子束蒸發,離子束刻蝕和反應離子刻蝕,原子層沉積,兆聲清洗以及光刻膠剝離等。三十年左右的時間內Nano-Master已經發展成為全qiu薄膜設備的供應商,已售出的幾百套設備分布于20多個不同國家的大學、研發中心和國家重點實驗室。


我們聘用技術熟練并具有良好教育背景的設計和制造工程師、應用工程師、服務工程師、技術支持人員,使得公司擁有yi流的服務團隊。作為薄膜工藝的設備提供商,我們的目標是提供高品質的服務并始終維持zui高水平的集成度。



ALD,PECVD,RIE,磁控濺射,熱蒸鍍,電子束,離子束,熱真空試驗,晶圓清洗機,PA-MOCVD
產地 進口 售后保修期 12個月
銷售區域 全國
NSC-4000(M)磁控濺射系統概述:帶有水冷或者加熱(可加熱到700度)功能,可達8“旋轉平臺,可支持4個偏軸平面磁控管。系統配套渦輪分子泵,J限真空可達10-7 Torr,15分鐘內可以達到10-6 Torr的真空。通過調整磁控管與基片之間的距離,可以獲得想要的均勻度和沉積速度。NSC-4000帶有13”鋁質腔體,4個2”的磁控管,DC直流和RF射頻電源。 在選配方面,我們提供不銹鋼腔體
NSC-4000(M)磁控濺射系統 產品信息

NSC-4000(M)磁控濺射系統概述:帶有水冷或者加熱(可加熱到700度)功能,可達8"旋轉平臺,可支持4個偏軸平面磁控管。系統配套渦輪分子泵,J限真空可達10-7 Torr,15分鐘內可以達到10-6 Torr的真空。通過調整磁控管與基片之間的距離,可以獲得想要的均勻度和沉積速度。

NSC-4000帶有13”鋁質腔體,4個2”的磁控管,DC直流和RF射頻電源。 在選配方面,我們提供不銹鋼腔體,500 l/s渦輪分子泵,額外的磁控管和襯底加熱功能。


NSC-4000(M)-1.jpg

NSC-4000(M)磁控濺射系統產品特點:

  • 不銹鋼,鋁質腔體

  • 260或500 l/s的渦輪分子泵,串接機械泵或干泵

  • 13.56MHz,300-600W RF射頻電源以及1KW DC直流電源

  • 晶振夾具具有的<1 ?的厚度分辨率

  • 帶觀察視窗的腔門易于上下載片

  • 基于LabView軟件的PC計算機控制

  • 帶密碼保護功能的多級訪問控制

  • *的安全聯鎖功能


NSC-4000(M)選配項:

  • 不銹鋼腔體

  • 熱蒸鍍能力

  • RF、DC濺射

  • RF或DC偏壓(1000V)

  • 樣品臺可加熱到700°C

  • 膜厚監測儀

  • 基片的RF射頻等離子清洗

  • 預真空鎖以及自動晶圓片上/下載片


NSC-4000(M)應用:

  • 晶圓片、陶瓷片、玻璃白片以及磁頭等的金屬以及介質涂覆

  • 光學以及ITO涂覆

  • 帶高溫樣品臺和脈沖DC電源的硬涂覆

  • 帶RF射頻等離子放電的反應濺射



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