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NIE-3000離子束清洗系統

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱那諾—馬斯特中國有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地國外
  • 廠商性質生產廠家
  • 更新時間 2022-11-11
  • 訪問次數373

那諾-馬斯特中國有限公司成立于2015年4月,是服務大中華區(包含中國大陸,香港,中國臺灣和澳門)的客戶,同時我們在中國大陸設有專門的服務辦公室,提供銷售和售后技術服務。


那諾-馬斯特中國的主要產品包括薄膜沉積設備、薄膜生長設備干法刻蝕設備、兆聲濕法清洗設備及太空模擬測試設備等等。Nano-Master的前身是那諾-馬斯特美國,該公司是法國那諾-馬斯*限公司于1992年在美國所創立的全資子公司,是一家國ji領xian的缺陷檢測和高速鍍層測量的計量公司。自從1993年開始Birol Kuyel博士全面接管那諾-馬斯特美國并正式更名。


自2001年Nano-Master開始設計開發薄膜應用方面的設備,正式面世的系統依次是磁控濺射、PECVD、晶圓/掩模版清洗系統…。應用領域涵蓋了半導體、MEMS、光電子學、納米技術和光伏等。我們的設備包含用于二氧化硅、氮化硅、類金剛石和CNT沉積的PECVD,用于InGaN、AlGaN生長的PA-MOCVD,濺射鍍膜(反應濺、共濺 、組合濺),熱蒸發和電子束蒸發,離子束刻蝕和反應離子刻蝕,原子層沉積,兆聲清洗以及光刻膠剝離等。三十年左右的時間內Nano-Master已經發展成為全qiu薄膜設備的供應商,已售出的幾百套設備分布于20多個不同國家的大學、研發中心和國家重點實驗室。


我們聘用技術熟練并具有良好教育背景的設計和制造工程師、應用工程師、服務工程師、技術支持人員,使得公司擁有yi流的服務團隊。作為薄膜工藝的設備提供商,我們的目標是提供高品質的服務并始終維持zui高水平的集成度。



ALD,PECVD,RIE,磁控濺射,熱蒸鍍,電子束,離子束,熱真空試驗,晶圓清洗機,PA-MOCVD
產地 進口 售后保修期 12個月
銷售區域 全國
NIE-3000離子束清洗系統產品概述:該系統為手動放片取片,但通過計算機全自動實現工藝控制的臺式離子束刻蝕系統,系統具有結構緊湊、功能強大、自動化程度高、模塊化設計易于維護、低成本的優s。
NIE-3000離子束清洗系統 產品信息

NIE-3000離子束清洗系統產品概述:該系統為手動放片取片,但通過計算機全自動實現工藝控制的臺式離子束刻蝕系統,系統具有結構緊湊、功能強大、自動化程度高、模塊化設計易于維護、低成本的優s。


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NIE-3000離子束清洗系統產品特點:

  • 低成本

  • 離子束:高達2KV/10mA

  • 離子電流密度100-360uA/cm2

  • 離子束直徑:4",5",6"

  • 兼容反應及非反應氣體(Ar, O2, CF4,Cl2)

  • J限真空5x10-7Torr

  • 260l/s渦輪分子泵,串接500 l/min干泵

  • 14"不銹鋼或鋁質腔體

  • 水冷旋轉/傾斜樣品臺(NIE-3500)

  • 自動上下載片(NIE-3500)

  • 基于LabView軟件的PC計算機全自動控制

  • 占地面積30"x30"


產品應用:

  • 表面處理

  • 離子銑

  • 表面清洗

  • 帶活性氣體的離子束刻蝕:  光柵刻蝕,以及SiO2,Si和金屬的深槽刻蝕


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