NMC-4000(A)全自動PAMOCVD系統概述:NANO-MASTER針對InGaN及AlGaN沉積工藝所研發的臺式等離子輔助金屬有機化學氣相沉積系統(PA-MOCVD),該系統具有5個鼓泡裝置(各帶獨立的冷卻槽)、加熱的氣體管路、950度樣品臺三個氣體環、淋浴式氣體分布的RF射頻等離子源以及工藝終端的N2沖洗、250l/sec渦輪分子泵及無油真空泵(5 x 10-7TorrJ限真空)、PC全自動控制,*的安全互鎖。
目前,這項技術延伸到5個4"晶圓的立柜式獨立批處理系統,該系統可以集成到集群配置中以滿足高產量的要求。
NMC-4000(A)全自動PAMOCVD系統應用:Green LED’s (GaN, InGaN, AlGaN, ...)
特點:
獨立系統
14”不銹鋼立方體腔體
1次在8”樣品臺上處理1個6”晶圓片或在12”樣品臺上處理5片4”片子
加熱的氣體管路
RF等離子源,自動調諧
淋浴頭氣體分布
1100°C的旋轉樣品臺
N2沖洗
全自動上下載片
可以兼容到集群配置中