施耐博格滑臺NK3-155 NK3-180半導體用滑塊
線性滾針式導軌N/O型:
N/O 62015 N/O 92025 N/O 2025 N/O 2535 N/O 3045 N/O 3555
線性滾針式導軌M/V型:
M/V3015 M/V4020 M/V5025 M/V6035 M/V7040 M/V8050
天津福業動力機械科技發展有限公司
集成的數字和模擬測距(帶有滾柱或滾珠)
數字和模擬測量可 精確的線性運動,并保持嚴格的公差。
系列AMSA 3B系列 AMSD 3B系列AMSA 4B系列 AMSD 4B系列 AMSABS 3B系列 AMSABS 4B系列AMSA 3L系列 MINISCALE PLUS系列 MINISLIDE MSQscale
施耐博格滑臺NK3-155 NK3-180半導體用滑塊
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可控制由于熱引起的機床變形,立柱和橫梁采用花崗巖制成。砂輪橫向位移滑座置于固定的橫梁上、安裝砂輪架的垂直運動拖板置于橫向位移滑座上。橫向位移和垂直運動均采用SIEMENS伺服電機直接驅動高精度滾珠絲杠來完成,HEIDENHAIN光柵位置反饋。橫向位移滑座以及垂直運動拖板的導軌同樣采用的是液體靜壓導軌。另外在垂直運動拖板上配備了微量進給機構,可以實現砂輪架0.1 μm的微進給。為了減少砂輪架滑座自重及其橫向位移引起的橫梁變形,在橫梁的正上方設置了卸荷裝置(卸荷橫梁)。用以承擔砂輪架滑座的大部分自重,并且通過HEIDENHAIN光柵位置反饋實現卸荷裝置與砂輪橫向位移滑座的運動同步