廢氣催化燃燒設備為防止活性炭堵塞，廢氣進入設備前需增設干式過濾器進行預處理，把廢氣中的雜質及顆粒物進行過濾，確保活性炭的使用壽命。脫附后的氣體經阻火器、進氣閥、換熱器、電加熱器（預熱器）升溫，使氣體溫度升至催化燃燒所需要的溫度，在催化床內的催化劑的作用下分解成水和二氧化。
當廢氣催化燃燒設備有機廢氣的流量大、濃度低、溫度低、采用催化燃燒需消耗大量的燃料時，可先采用吸附手段將有機廢氣吸附于吸附劑上并進行濃縮，然后通過熱空氣吹掃，使有機廢氣脫附成為高濃度有機廢氣(可濃縮10倍以上)后再進行催化燃燒。不需要補充熱源可以維持正常運行，其工藝流程對有機廢氣催化燃燒處理工藝的選擇主要取決于：
1.燃燒過程的放熱量，即廢氣中的種類和濃度;
2.起燃溫度，即有機組分的性質及催化劑活性;
3.熱量回收率等。當回收熱量過預熱所需熱量時，可實現自身熱平衡運轉，無需外界補充熱源，這是經濟的。
廢氣催化燃燒設備特點
廢氣催化燃燒設備脫附后的氣體經阻火器、進氣閥、換熱器、電加熱器（預熱器）升溫，使氣體溫度升至催化燃燒所需要的溫度，在催化床內的催化劑的作用下分解成水和二氧化碳，同時放出大量的熱，使氣體溫度進一步提高，高溫氣體再通過換熱器進行部分熱量回收后，通過風機排出。
