特色
表面光源可以用全域控制、環形控制、1/8圓或1/4圓的方向區塊控制或是單獨的區段控制等模式來選擇使用。
每個區塊都可以隨意控制，使被測工件的影像更清晰去除陰影部分的干擾，使難以觀察的邊緣清晰呈現。
使用下方的按鍵來切換選擇，右邊的滾動條來調整亮度。使用者可以同時使用多個區段的光源，先按住Ctrl鍵，再點選需使用的光源區段，或是用鼠標拖拽框選需使用的光源區段。
五環表面光源使用的范例：
環形控制
區段控制
區塊控制
全域控制
提供長與短工作距離的選擇
使用2X物鏡會縮短鏡頭與工件之間的工作距離，而因為離工件較近所以也須使用2X表面環形光源。由于2X表面環形光源的亮度更強且光線入射角度更接近水平，更有利于觀察與測量特殊邊緣與凹槽；
相對地，未安裝2X物鏡時，工作距離會較長，1X表面環形光源的光源亮度也較暗一些，光線入射角度更接近垂直。
附加資料：
Micro-Vu影像測量儀高效的光源功能包括：表面光源，輪廓光源，同軸光源。
輪廓光源
輪廓光源由工件的下方發出，用來測量穿透孔與工件邊緣。單獨使用輪廓光源來觀察工件會得到一個輪廓明顯，邊緣對比度高的黑白影像。
同軸光源
同軸光源由鏡頭的側面發出，透過鏡頭內的半反射鏡反射，然后聚光向下穿透鏡頭中心照射在工件表面。同軸光源應用在高倍率測量、盲孔以及平坦面上的元素測量。
