型號 | CCI |
測量方法 | 相關相干干涉(CCI) |
Z軸分辨率 | 0.01nm |
Z軸測量范圍 | 2.2nm |
RMS重復性 | <0.02nm |
測量面積(X.Y) | 6.6x6.6mm |
特點 | 非壓電陶瓷閉環Z軸控制,提高精度,不易損壞 |
應用范圍 | MEMS, 芯片,膜厚,鏡頭和玻璃表面分析,磨損測試和摩擦學,材料分析,太陽能電池,等 |