簡(jiǎn)介Overview

PE50 是一款高性價(jià)比的等離子清洗機(jī)，提供其他競(jìng)爭(zhēng)產(chǎn)品不具備的非常多的特性。 這臺(tái)等離子清洗機(jī)適合小批量生產(chǎn)，研究和開(kāi)發(fā)實(shí)驗(yàn)室，測(cè)試生產(chǎn)或是大學(xué)。系統(tǒng)提供防爆型矩形焊接鋁合金真空腔（大?。?” 寬x 7” 深 x 4”高）， 并有一個(gè)直接驅(qū)動(dòng)型射頻電極。

等離子清洗應(yīng)用包括：科研，太陽(yáng)能電池，印刷電路板，連接器，MEMs，納米材料，晶元產(chǎn)品包裝，接觸透鏡，和很多半導(dǎo)體制作工程。

特性：

所有PLASMA ETCH等離子清洗采用電容平行板設(shè)計(jì)，是等離子產(chǎn)生方式。

很多競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手采用玻璃/石英筒形腔體設(shè)計(jì)不能穿透真空密封容器，從而被限制為使用射頻線圈繞在腔體外圍的射頻耦合。這是一種非常沒(méi)有效率的方式，結(jié)果是功率損失，嚴(yán)重的低刻蝕/清洗移除效率。

等離子清洗設(shè)備的用途和靈活性，可以用與處理多種表面，并精確控制。比較濕法清洗和蝕刻工藝，等離子清洗沒(méi)有危險(xiǎn)物質(zhì)和廢水產(chǎn)生，如果有效的表面處理對(duì)產(chǎn)品重復(fù)性或是過(guò)程效率非常關(guān)鍵，等離子工藝可能是很好的選擇。

PE50等離子清洗機(jī)包含部件，全部在美國(guó)生產(chǎn)，Plasma Etch*。

PE50等離子清洗機(jī)用于移除有機(jī)或是無(wú)機(jī)污染物，改善浸潤(rùn)性，提升粘接強(qiáng)度，并去除殘留物，這在非常多的產(chǎn)品和制作過(guò)程中都是有效的處理方式。

標(biāo)準(zhǔn)配置規(guī)格

焊接鋁真空反應(yīng)腔6” X 7” X 4”

單個(gè) 4.5” x 6” 水平電極

150 Watts @ 50 kHz 射頻發(fā)生器，可以提供400W電源選項(xiàng)

精確針閥流量控制0-25cc/min

皮拉尼真空計(jì)0-1乇

5CFM氧氣提供真空泵

存儲(chǔ)1組過(guò)程參數(shù)

可選項(xiàng)目特性

150W @ 13.56MHz 射頻發(fā)生器和自動(dòng)匹配電路.

燈條

質(zhì)量流量計(jì)

電氣和尺寸

交流電120VAC 60 Hz @ 15 A or 220 VAC 50 Hz @ 14A

反應(yīng)器運(yùn)輸重量55lbs

真空本運(yùn)輸重量 35lbs

反應(yīng)器外形尺寸 14 “ X 14.5” X 18”

真空泵外形尺寸 7” x 16”

可選Venus升級(jí)選項(xiàng)

l 適用電腦/筆記本的控制程序

使用含有PLASMA ETCH軟件的臺(tái)式機(jī)/筆記本，用于自動(dòng)控制系統(tǒng)運(yùn)行，編輯工作序列，多個(gè)狀態(tài)存儲(chǔ)以及更*的功能。

l 質(zhì)量流量控制器

帶一個(gè)質(zhì)量流量控制器。可以配置更多的質(zhì)量流量控制器。