Hisomet高精度三次元工具顯微鏡
為光學金相顯微鏡與X、Y、Z三軸高精密可動平臺所組成的尺寸量測設備。其中，Z軸量測精度可達±1μm，此外，光學非接觸式量測設計，可避免量測過程中對待測物造成損傷。依客戶需求，可搭配專業化的量測軟體及相關配件。
UNION三次元工具顯微鏡特性：

• 三眼式機臺設計，除基本的雙眼觀察，可外接CCD輸出高畫質影像至影像顯示器。
• 可搭配三軸高精度光學尺，連接外接顯示器可快速讀取xyz三軸數值。
• 砲塔式旋轉物鏡座，可依實際需求選擇搭配適當倍率之物鏡。
• 大範圍XY平臺移動行程，支援300x300mm工件之跨畫距尺寸量測。
• Z軸超高精度量測，量測精度可達±1μm。
• 多元化的軟體功能，支援尺寸量測、CAD繪圖等進階功能操作。
• 可調式背光光源，提供待測物之輪廓量測。
• Z軸光學式輔助對焦符號，降低人眼對焦誤差。
• 提供兩種不同的對焦符號，可任意切換。
• 具備明、暗視場，可依待測物表面狀況隨時切換。

工具顯微鏡應用範圍：
IC封裝產業(金線弧高、段差量測)、機械產業、學術研究機構等需要高精度三次元量測的待測物(Sample)

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