MVR系列量測系統(tǒng)的硬體包括用於實現(xiàn)穩(wěn)定性的大理石基座、用於實現(xiàn)工作臺平滑精密運動的循環(huán)滾珠直線導軌，以及用於實現(xiàn)變速控制的電動Z軸。
- 測量範圍(X-Y)：200x100mm (MVR200) / 300x200mm (MVR300)。
- 採用電動升降Z軸，測量行程：200mm。
- 精度(X-Y)(um)：E1=3.5+5L/1000。
- 精度(Z)(um)：E1=2.5+5L/1000。
- 解析度：0.5um (英國RENISHAW光學尺) 。
- 成像系統(tǒng)：高解析1/3”彩色CCD，百萬像素。
- 光學系統(tǒng)：6.5：1手動變焦，放大倍率為31X到200X。
- 照明系統(tǒng)：軟體控制的2道LED，表面光照明和同軸照明，可選購LED環(huán)形表面光照明。
- 花崗石底座。
- 影像顯示：21”LCD觸控式螢幕。
- Windows 7作業(yè)系統(tǒng)搭配M3量測軟體。
