- X 軸測量系統：
- 使用高精度 Heidenhain 光學尺系統
- 床臺左和右兩側有 Heidenhain 光學尺系統
- 使用RENISHAW 光學尺量測系統，長度為 80 mm
- 綜合量測系統，提供 100 mm 範圍內高精度量測，以及標準精度量測
商品規格
| ULM 520 S-E | ULM 1000 S-E | |
| 外量測的量測範圍 [mm] | 0 至 520 | 0 至 1025 |
| 內量測的量測範圍 [mm] | 0.5 至 365 | 0.5 至 870 |
| 量測範圍 [mm] | 外量測：0 至 520 內量測：0.5 至 365 | 外量測：0 至 1025 內量測：0.5 至 870 |
| 量測不確定度 MPEE1 [µm] (L in mm) | 阿貝量測元素：MPE E1 ≤(0.09+L/2000) 基床量測系統：MPE E1 ≤(0.6+L/1000) | 阿貝量測元素：MPE E1 ≤(0.09+L/2000) 基床量測系統：MPE E1 ≤(0.6+L/1000) |
| 測量力 [N] | 0.2 ; 1.0 - 4.5 ; 11 | 0.2 ; 1.0 - 4.5 ; 11 |
| 重複性 [µm] | 阿貝量測元素：≤ 0.05 基床量測系統：≤ 0.2 | 阿貝量測元素：≤ 0.05 基床量測系統：≤ 0.2 |
