Summit450/625/800 參數介紹： |
X
XY 精度: E2=(2.0+4L/1000)um (E2=(1.5+5L/1000)um 高分辨率刻度尺)
Z 線性精度: E1=(1.8+5L/1000)um (E1=(1.4+5L/1000)um TTL激光及可選5X鏡頭)
英制單位 | 公制單位 | ||||||
測量范圍(Summit 450) | 18" X18"X6" | 450X450x150mm | |||||
測量范圍(Summit 600) | 18" X24"X6" | 450X600x150mm | |||||
測量范圍(Summit 625) | 615x610x150mm | ||||||
測量范圍(Summit 800) | 30" X31"X6" | 760X800x150mm | |||||
尺寸(Summit 450/600) | 40" X65X76" | 1016X1650X1930mm | |||||
尺寸(Summit 800) | 56" X74.2X76" | 1422X1884X1930mm | |||||
負載能力 | 50kg | ||||||
分辨率 | 0.1um (可選 0.04umX-Y) | ||||||
光學 | 雙重放大 (物鏡X) | ||||||
低 | 0.8 | 1.0 | 2.5 | 5.0 | 10.0 | 25.0 | |
高 | 3.2 | 4.0 | 10.0 | 20.0 | 40.0 | 100.0 | |
標準物鏡 | 2.5X | ||||||
可選物鏡 | 0.8X,1.0X,5X,10X | ||||||
照明 | LED 背光,LED 同軸面光 | ||||||
可選特征 | 多色可編程環形光源 | ||||||
Ronchi 柵格自動ju jiao | |||||||
TTL激光 | |||||||
光譜探針 | |||||||
旋轉工作臺 | |||||||
兆像素數碼相機 | |||||||
高速測量和連續圖像獲取 | |||||||
特征：
- 測量范圍：450 x 450 x 150 mm或 450 x 600 x150 mm
- 50公斤承載力
- 亞微米的光柵尺分辨率
- 平臺移動速度X-Y:200 mm/秒; Z:100 mm/秒
- 可選的X-Y無阻力線性馬達驅動，平臺速度400 mm/秒
- 誤差映射：在XY平面非線性二維糾錯
- 雙重放大光學系統，固定鏡頭，內部放大1-4倍
- 可編程LED平臺背光及同軸表面光照明
- 可編程多色（紅、藍、綠、復合白色）環形燈(PRL)選項
- TTL激光選項，具有自動聚焦和掃描功能
- 三角和共焦激光位移傳感器選項
- SpectraProbeTM 高分辨率彩色傳感器選項
- *的圖像處理性能，快速、精確、穩健
- 雙通道，數字式，1.4兆像素的單色相機; 4:1的比例
- 次像素精度： 1/10 - 1/50 pixel
- 獨立的Anthro Cart Operator工作站，90 x 90 x128 cm;40kg
- 可選配一體式可調節高度的工作站活動臂及平臺，上可放置平板顯示器、鍵盤鼠標及周邊設備
- 強大的測量軟件和數據分析工具可供選擇
- 平均*工作時間 MTBF ≥ 8,000 小時
Summit的應用范圍包括：
半導體/電子
PCB板與Stencil
光罩
引線框，引線接合，柔性線路板，連接器
SMT元件貼裝
錫膏/環氧數脂膠點
芯片載體和托盒
噴墨打印機墨盒
數據存儲
磁盤介質基板
滑塊和懸臂組(HGA)
Wafer carriers and row bar pallets
精密注塑和機加工件
模具和刀具
