產品描述
PK3L80-080U是一款超緊湊的亞納米閉環控制掃描臺,每個軸都經過機械預加載。*的產品設計非常緊湊,在XYZ運動軸上的運動均可達80µm(閉環)行程,并且由于柔性機械設計而實現了無間隙的平行運動。其緊湊的設計使其是許多應用的理想工具,例如:光纖對準、雙光子聚合和激光寫入應用等。
可以選擇使用集成的SGS測量系統來克服遲滯的影響,并且PK3L80-080U定位系統可以配備電容測量系統,PK3L80-080U壓電掃描臺可以輕松地與其他機械定位系統結合使用。壓電掃描臺是為了滿足超精密定位應用的需求。該平移臺采用壓電陶瓷驅動,以柔性鉸鏈為導向使其結構緊湊、具有無摩擦、無間隙、定位分辨率高等優點。
PK3L80-080U系列非常適合從光學研究到OEM系統的各種應用。非常適合即要求有孔徑又對體積有限制的應用。
本系列產品種類包括X、Z、XZ、XY、XYZ軸運動系統版本。請參照相關型號介紹。
選配功能
—可定制轉接裝置
—可選PZT&Sensor連接器及線纜長度
—可選配閉環(SGS) 位置反饋系
—可選擇中心孔徑大小
應用領域
—掃描顯微鏡
—超分辨率顯微鏡
—掩模、晶圓定位
—干涉測量、測量技術
—顯微操縱
結構原理 堆疊形式 典型應用
PK3L80-080U系列技術參數