產品描述
PSWL40-080U系列經過優化設計,可提供110µm行程范圍,同時保持其緊湊的外觀。 該平臺也可用于2軸版本XZ軸,也可用于帶有X軸或Z軸的1軸版本。PS2L40-080U可與Z軸組合升級為XYZ產品,型號為PS3L40-080U-S。
閉環版本具有高分辨率應變片式位置傳感器,可實現高精度和可重復的運動,還可以補償壓電陶瓷的的蠕變。傳感器采用全閉環電橋設計。它可以在開環或閉環控制中運行。該產品可呆在一定的負載進行步進掃描動態使用。
由于其高性價比和高性能參數,該平臺在光纖對準和激光寫入應用中獲得了極大的成功。
PSWL40-080U系列的元件由集成在帶有內部杠桿傳動裝置的殼體中的執行器組成。 壓電平臺通過四個對角孔固定在基板上。納米臺可以通過兩個對角螺孔安裝在頂板上,由于杠桿傳動在兩個方向上均起作用,因此需要避免殼體和頂板之間的作用力,因為它們可能會損壞壓電納米位移平臺。
選配功能
—可定制孔位及轉接裝置
—可選PZT&Sensor連接器及線纜長度
—可選配閉環(SGS) 位置反饋系
—可提供XYZ版本
應用領域
—原子力顯微鏡、掃描探針顯微鏡
—測量、計量
—光學探針、光學掃描、光束對準
—微流體技術
結構原理 位移特性 典型應用
PSWL40-080U系列技術參數