產(chǎn)品描述
PS1H60-024U是一款多功能的緊湊型納米定位器,可以配置以適應多種應用。可以將各個單軸平臺組合起來以形成多軸系統(tǒng)。通過轉(zhuǎn)接轉(zhuǎn)可組成XY二維運動平臺。方便用戶升級與維護。PS1H60-024U壓電納米定位臺以壓電陶瓷為驅(qū)動源并采用直驅(qū)機構(gòu)的一維運動的壓電位移平臺,無摩擦、高精度柔性鉸鏈導向系統(tǒng),可達毫秒級響應、納米級定位精度,并可選配高精度傳感器進行閉環(huán)精密定位控制。本產(chǎn)品的運動范圍為30μm(開環(huán))。其他行程可以根據(jù)要求進行定制。PS1H60-024U本體由鋁材質(zhì)構(gòu)成,用戶可選擇殷鋼或鈦制成,并可以進行定制以適應*的要求,但是參數(shù)表中給出的為鋁材質(zhì)條件下測得數(shù)據(jù)。
壓電平臺負載能力高達8kg,該產(chǎn)品非常適于定位應用,如干涉中光路徑長度修正、顯微或掃描應用中的樣品定位等,已廣泛應用于干涉、顯微、精密加工等領域。
壓電平臺固定是通過移動面和底板上的螺紋孔實現(xiàn)的。若要安裝到具有標準柵格的光學平臺或其他組件上,請使用轉(zhuǎn)接板轉(zhuǎn)接。在緊固過程中,應避免過大的彎矩載荷和作用在移動面與外殼之間的側(cè)向力,這些外力可能會損壞位移臺。
選配功能
—可定制轉(zhuǎn)接工裝
—可選PZT&Sensor連接器及線纜長度
—可選配閉環(huán)(SGS) 位置反饋系
—可組維、可定制其他行程
應用領域
—半導體技術(shù)、精密加工
—干涉儀、測量技術(shù)
—光纖定位、高速鏡頭聚焦
—測試程序、質(zhì)量保證
結(jié)構(gòu)原理 高速響應 典型應用
PS1H60系列技術(shù)參數(shù)