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大族激光是世界主要的激光加工設(shè)備生產(chǎn)廠商之一，2014年公司銷售收入超過(guò)55億元人民幣，位居世界激光企業(yè)前三位，國(guó)內(nèi)激光設(shè)備占有率位。目前公司是廣東省裝備制造業(yè)重點(diǎn)企業(yè)、廣東省產(chǎn)品企業(yè)、深圳自主創(chuàng)新企業(yè)，主要科研項(xiàng)目被認(rèn)定為*火炬計(jì)劃項(xiàng)目。
大族激光為國(guó)內(nèi)外客戶提供一整套激光加工解決方案及相關(guān)配套設(shè)施，主要產(chǎn)品包括：激光打標(biāo)機(jī)系列、激光焊接機(jī)系列、激光切割機(jī)系列、高功率激光切割及焊接設(shè)備、激光演示系列、PCB鉆孔機(jī)系列、直線電機(jī)、LED設(shè)備等多個(gè)系列二百余種工業(yè)激光設(shè)備及其配套產(chǎn)品。公司產(chǎn)品涉及電子電路、集成電路、儀器儀表、計(jì)算機(jī)制造、手機(jī)通訊、汽車配件、精密器械、建筑建材、服裝服飾、城市燈光、金銀首飾、工藝禮品等多種行業(yè)。
主要特點(diǎn)：
設(shè)備特點(diǎn)：
適用于4-6英寸基底LED硅芯片/藍(lán)寶石芯片生產(chǎn)中的光刻工藝，采用超大曝光視場(chǎng)，大大減少曝光次數(shù)，顯著提高產(chǎn)能；同時(shí)該設(shè)備具有高分辨率、高線寬均勻性等特點(diǎn)。
主要參數(shù):
| 主要參數(shù) | 加工尺寸 | 4”、6“晶圓 |
| 加工速度 | 4", 137pcs/h 6", 110pcs/h | |
| 加工精度 | 分辨率2μm L/S | |
| 平臺(tái)參數(shù) | 定位精度 X: ±200nm Y: ±200nm Z: ±350nm Rx Ry Rz：10urad | |
| 激光器參數(shù) | 光源：2000W UV Lamp，波長(zhǎng)365nm 感光區(qū)域：53*38.5mm 工作照度：>550mW/cm2(New lamp) 光源均勻度：≤3% | |
| Tact time | 4”：43.1秒(片)，循環(huán)TT 25.6秒 6”：49.1秒(片)，循環(huán)TT 31.6秒 | |
| 稼動(dòng)率 | >95% |
加工效果：
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