主要特點(diǎn)：
設(shè)備特點(diǎn)：
1、線形光斑的激光整形技術(shù)，實(shí)現(xiàn)在不同尺寸加工樣品上的剝離操作
2、氣浮式的工作臺(tái)實(shí)現(xiàn)無(wú)接觸無(wú)摩擦的加工形式，避免產(chǎn)生粉塵顆粒，保證裝備內(nèi)部的潔凈度
3、高精度、大尺寸、雙工位的stage設(shè)計(jì)，可有效提高生產(chǎn)效率
4、panel載臺(tái)吸附設(shè)計(jì)。激光設(shè)備的物料載臺(tái)的真空吸附部分，采用了分區(qū)域加時(shí)間延遲的設(shè)計(jì)，先吸附中間部分，再逐次往外圍吸附，保證帶柔性膜的panel可以無(wú)皺褶高效吸附
主要參數(shù):
| 主要參數(shù) | 加工尺寸 | 1"-8" |
| 加工速度 | 180mm/s | |
| 加工精度 | 0.1μm | |
| 平臺(tái)參數(shù) | 1）移動(dòng)精度 X 軸： 0.1μm Y 軸： 0.1μm Z 軸： 1μm Theta 軸： 0.2° 2）定位精度 X 軸： ≤±4μm Y 軸： ≤±4μm Z 軸： ≤±5μm Theta 軸： 0.1° | |
| 激光器參數(shù) | 1）激光器波長(zhǎng)： 308nm 2）激光能量： ≥600W 3）激光脈沖功率： 1000mJ 4）總頻率： 600 Hz 5）脈沖寬度： 24±4ns 6）脈沖穩(wěn)定性： ≤1% | |
| 工藝方式 | DPSS激光剝離 | |
| 制程類型 | 激光剝離 | |
| Tact time | 1":4.5s 8":6s | |
| 稼動(dòng)率 | 0.9 |
加工效果：
