技術參數
訂貨號 | 6910230 (2um針尖半徑);6910232 (5um針尖半徑) |
測量原則 | 觸針式測量 |
輸入 | 感應式滑動測頭 |
測量范圍 | 350 μm、180 μm、90 μm(自動切換) |
輪廓分辨率 | 32 nm、16 nm、8 nm(自動切換) |
短行程符合 | 可選 |
掃描長度符合 ISO 12085 (MOTIF) | 1 mm, 2 mm, 4 mm, 8 mm, 12 mm, 16 mm |
根據 ISO/JIS 評估長度 | 1.25 mm、4.0 mm、12.5 mm |
采樣長度數量符合 ISO/JIS | 可選:1 至 5 |
測量力 (N) | 約0.7 mN |
校準功能 | 動態 |
儲量 | 最多 15 個輪廓,最多 20000 個結果 |
其他 | 鎖定/密碼保護,日期/時間 |