X軸采用氣浮導軌，可滿足高精度的加工需求
- Φ150 mm
- 單主軸
可對應廣泛的產品應用
加工物尺寸直徑6英寸，特殊選配可加工150×150 mm的加工物。高扭矩2.0 KW的標配主軸，可以靈活地對應難切割材料的加工。
采用了寬敞的水箱結構，以及X軸有充足行程的構造。
可對應高精度?高品質的加工
X軸的結構充分發揮氣浮導軌的特性，實現了直線度的提高。
Y軸標準配置的光柵尺可以穩定地進行軸控制，發揮更高的定位精度。根據這些功能，可滿足精度要求較高的光學部品及磁頭等產品的切割、開槽等精密加工需求。
提高生產效率
提高了Z軸的移動速度。
提高加工效率
新型非接觸式測高功能（Non-Contact Setup/ 選配），對工作臺的刀片測高時間縮短了74%。因為提高了測量精度，使加工品質更加穩定。除此之外，顯微鏡環形照明的開燈方向可以切換3種模式，提高了切痕檢測的識別率。可對應SECS/GEM通信系統。
操作簡便
- XIS (Extended Interface System)
操作按鈕集中于顯微鏡頁面 - Wafer mapping
與全自動機型相同，以圖示顯示切割的進度狀態 - Log viewer
以圖示表示類比數據，可視化切割參數 - Help viewer
異常發生時顯示對應措施，有助于迅速切實地恢復設備狀態
便捷的保養特性
配置了顯微鏡鏡頭專用擋板和吹氣清潔裝置，可以降低保養頻率，并提高設備的工作效率。
Specifications
| Specification | Unit | ||
|---|---|---|---|
| Max. workpiece size | - | Φ6 inch (150 mm × 150 mm, 220 mm × 160 mm user-specified specification) | |
| X-axis | Cutting range | mm | 160 |
| Cutting speed | mm/s | 0.1 ～ 300 | |
| Y-axis | Cutting range | mm | 162 |
| Index step | mm | 0.0001 | |
| Index positioning accuracy | mm | 0.0015/160 (Single error) 0.0005/5 | |
| Z-axis | Max. stroke | mm | 32.2（Φ2" blade） |
| Moving resolution | mm | 0.000002 (2 nm) | |
| Repeatability accuracy | mm | 0.001 | |
| θ-axis | Max. rotating angle | deg | 320 |
| Spindle | Rated output | kW | 2.0 at 40,000 min-1 |
| Rated torque | N?m | 0.48 | |
| Revolution speed range | min‐1 | 3,000 ～ 40,000 | |
| Machine dimensions(W×D×H) | mm | 730 × 900 × 1,670 | |
| Machine weight | kg | Approx. 600 | |
※ 為了改善，機器的外觀，特征，規格等本公司可能在未預先通知用戶的情況下實施變更。
※ 機器的使用條件，請先確認標準規格書。
Product Lineup
| Machine type |
| Spindle |
| C/T |
| Machine dimentions（W × D × H） |
| Machine weight（kg） |
| DAD323 | DAD324 | DAD3220 | DAD3221 | DAD3230 | DAD3231 | DAD3240 | DAD3241 | DAD3350 | DAD3351 | DAD3360 | DAD3361 | DAD3430 | DAD3650 | DAD3651 | DAD3660 | DAD3661 |
| 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 |
| 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 2 | 2 | 2 | 2 |
| 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
| 490 × 870 × 1,600 | 490 × 870 × 1,670 | 500 × 900 × 1,670 | 490 × 870 × 1,670 | 730 × 900 × 1,670 | 650 × 950 × 1,670 | 650 × 950 × 1,600 | 650 × 950 × 1,670 | 900 × 1,050 × 1,800 | 880 × 1000 × 1,800 | 880 × 1,000 × 1,800 | 880 × 1,000 × 1,800 | 730 × 900 × 1,670 | 790 × 790 × 1,890 | 790 × 790 × 1,800 | 1,350 × 1,200 × 1,890 | 1,350 × 1,200 × 1,800 |
| 400 | 420 | 550 | 420 | 600 | 550 | 530 | 550 | 1,200 | 1,100 | 1,100 | 1,100 | 600 | 1,100 | 1,040 | 1,500 | 1,550 |
