具有高擴展性,可以滿足各種加工需求
- Φ300 mm
- 單主軸
廣泛的產品應用
DAD3361是對應直徑300 mm加工物※的半自動切割機。標準搭載1.8 kW高功率主軸。選用高轉矩?高剛性的2.2 kW主軸(選配)、可對應從硅到陶瓷等難切割材料的加工??蛇x用對應5英寸刀片的特殊規格。除此以外,還可選配 一張膠膜框架上粘貼多片加工物的校準功能。
※ 可特殊搭載外接圓直徑395 mm之內的治具工作臺
穩定的加工品質
采用高剛性門型結構以及有效地抑制熱伸縮和振動的主軸前端支撐結構,提供更穩定的加工點。并且,搭載了主軸溫度傳感器的溫度監測功能。
縮短加工時間
X,Y,Z全軸采用伺服馬達,不僅提高了軸速,而且達到了化的控制參數。因此,和以往機種相比縮短了約2%的加工時間。

提高生產效率
新型非接觸式測高功能(Non-Contact Setup/ 選配),對工作臺的刀片測高時間縮短了74%。因為提高了測量精度,使加工品質更加穩定。除此之外,顯微鏡環形照明的開燈方向可以切換3種模式,提高了切痕檢測的識別率??蓪猄ECS/GEM通信系統。

操作簡便
- XIS (Extended Interface System)
操作按鈕集中于顯微鏡頁面 - Wafer mapping
與全自動機型相同,以圖示顯示切割的進度狀態 - Log viewer
以圖示表示類比數據,可視化切割參數 - Help viewer
異常發生時顯示對應措施,有助于迅速切實地恢復設備狀態




簡便的保養特性
- 增強了X, Y和Z軸的防塵性能
對陶瓷等切屑容易損傷主軸的材料更為有效
對應多片粘貼
可將多片封裝基板粘貼在1個膠膜框架上進行加工(最多可對應16片)。

測長校準
對于樹脂基板等會產生不規則伸縮的材質,通過多點校準,可實現高精度的加工。

Specifications
Specification | Unit | 1.8 kW | 2.2 kW (Optional *) | 2.2 kW High torque (optional) | |
---|---|---|---|---|---|
Max. workpiece size | - | Φ300 mm (280 mm × 280 mm user-specified specification) | |||
X-axis | Cutting range | mm | 310 | ||
Cutting speed | mm/s | 0.1 ~ 1,000 | |||
Y-axis | Cutting range | mm | 310 | ||
Index step | mm | 0.0001 | |||
Index positioning accuracy | mm | 0.002/310 (Single error) 0.002/5 | |||
Z-axis | Max. stroke | mm | 31.2 | 31.4 | |
Moving resolution | mm | 0.0000002 (0.2 nm) | |||
Repeatability accuracy | mm | 0.001 | |||
θ-axis | Max. rotating angle | deg | 320 Θ-axis rotation specification (optional) | ||
Spindle | output | kW | 1.8 at 60,000 min-1 | 2.2 at 30,000 min-1 | 2.2 at 15,000 min-1 |
Rated torque | N?m | 0.29 | 0.7 | 1.4 | |
Revolution speed range | min‐1 | 6,000 ~ 60,000 | 3,000 ~ 30,000 | 3,000 ~ 15,000 | |
Machine dimensions(W×D×H) | mm | 880 × 1,000 × 1,800 | |||
Machine weight | kg | Approx. 1,100 |
※ 為了改善,機器的外觀,特征,規格等本公司可能在未預先通知用戶的情況下實施變更。
※ 機器的使用條件,請先確認標準規格書。
Product Lineup
Machine type |
Spindle |
C/T |
Machine dimentions(W × D × H) |
Machine weight(kg) |
DAD323 | DAD324 | DAD3220 | DAD3221 | DAD3230 | DAD3231 | DAD3240 | DAD3241 | DAD3350 | DAD3351 | DAD3360 | DAD3430 | DAD3431 | DAD3650 | DAD3651 | DAD3660 | DAD3661 |
半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 |
1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 2 | 2 | 2 | 2 |
1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
490 × 870 × 1,600 | 490 × 870 × 1,670 | 500 × 900 × 1,670 | 490 × 870 × 1,670 | 730 × 900 × 1,670 | 650 × 950 × 1,670 | 650 × 950 × 1,600 | 650 × 950 × 1,670 | 900 × 1,050 × 1,800 | 880 × 1000 × 1,800 | 880 × 1,000 × 1,800 | 730 × 900 × 1,670 | 730 × 900 × 1,670 | 790 × 790 × 1,890 | 790 × 790 × 1,800 | 1,350 × 1,200 × 1,890 | 1,350 × 1,200 × 1,800 |
400 | 420 | 550 | 420 | 600 | 550 | 530 | 550 | 1,200 | 1,100 | 1,100 | 600 | 600 | 1,100 | 1,040 | 1,500 | 1,550 |