具有高擴(kuò)展性，可滿足多種加工需求
- Φ200 mm
- 單主軸
廣泛的產(chǎn)品應(yīng)用
DAD3351是對(duì)應(yīng)8英寸加工物的半自動(dòng)切割機(jī)。標(biāo)準(zhǔn)搭載1.8 kW高功率主軸。選用高轉(zhuǎn)矩?高剛性的2.2 kW主軸（選配）、可對(duì)應(yīng)從硅到陶瓷等難切割材料的加工。選用對(duì)應(yīng)5英寸刀片的特殊規(guī)格，可以切割厚度10 mm以上的加工物。除此以外，還可選配 一張膠膜框架上粘貼多片加工物的校準(zhǔn)功能。
穩(wěn)定的加工品質(zhì)
采用高剛性門型結(jié)構(gòu)以及有效地抑制熱伸縮和振動(dòng)的主軸前端支撐結(jié)構(gòu)，提供更穩(wěn)定的加工點(diǎn)。并且，搭載了主軸溫度傳感器的溫度監(jiān)測(cè)功能。
縮短加工時(shí)間
X，Y，Z全軸采用伺服馬達(dá)，不僅提高了軸速，而且達(dá)到了化的控制參數(shù)。因此，以往機(jī)種相比縮短了約5%的加工時(shí)間。
提高生產(chǎn)效率
新型非接觸式測(cè)高功能（Non-Contact Setup/ 選配），對(duì)工作臺(tái)的刀片測(cè)高時(shí)間縮短了74％。因?yàn)樘岣吡藴y(cè)量精度，使加工品質(zhì)更加穩(wěn)定。除此之外，顯微鏡環(huán)形照明的開燈方向可以切換3種模式，提高了切痕檢測(cè)的識(shí)別率?？蓪?duì)應(yīng)SECS/GEM通信系統(tǒng)。
操作簡(jiǎn)便
- XIS (Extended Interface System)
操作按鈕集中于顯微鏡頁(yè)面 - Wafer mapping
與全自動(dòng)機(jī)型相同，以圖示顯示切割的進(jìn)度狀態(tài) - Log viewer
以圖示表示類比數(shù)據(jù)，可視化切割參數(shù) - Help viewer
異常發(fā)生時(shí)顯示對(duì)應(yīng)措施，有助于迅速切實(shí)地恢復(fù)設(shè)備狀態(tài)
便捷的保養(yǎng)特性
- 增強(qiáng)了X, Y和Z軸的防塵性能
針對(duì)陶瓷等切屑容易對(duì)主軸損傷的材料更有效
Specifications
| Specification | Unit | 1.8 kW | 2.2 kW (Option) | 2.2 kW (Option) (High torque) | |
|---|---|---|---|---|---|
| Max. workpiece size | - | Φ8 inch (250 mm × 250 mm user-specified specification) | |||
| X axis | Cutting range | mm | 260 | ||
| Cutting speed | mm/s | 0.1 ～ 1,000 | |||
| Y-axis | Cutting range | mm | 260 | ||
| Index step | mm | 0.0001 | |||
| Index positioning accuracy | mm | 0.002/260 (Single error) 0.002/5 | |||
| Z-axis | Max. stroke | mm | 31.2 | 31.4 | |
| Moving resolution | mm | 0.0000002 (0.2 nm) | |||
| Repeatability accuracy | mm | 0.001 | |||
| θ-axis | Max. rotating angle | deg | 320 Θ axis rotation specification 380°(option):382.5 | ||
| Spindle | Rated output | 1.8 at 60,000 min-1 | 2.2 at 30,000 min-1 | 2.2 at 15,000 min-1 | |
| Rated torque | N?m | 0.29 | 0.7 | 1.4 | |
| Revolution speed range | min‐1 | 6,000 ～ 60,000 | 3,000 ～ 30,000 | 3,000 ～ 15,000 | |
| Machine dimensions(W×D×H) | mm | 880 × 1,000 × 1,800 | |||
| Machine weight | kg | Approx. 1,100 | |||
※ 為了改善，機(jī)器的外觀，特征，規(guī)格等本公司可能在未預(yù)先通知用戶的情況下實(shí)施變更。
※ 機(jī)器的使用條件，請(qǐng)先確認(rèn)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格書。
Product Lineup
| Machine type |
| Spindle |
| C/T |
| Machine dimentions（W × D × H） |
| Machine weight（kg） |
| DAD323 | DAD324 | DAD3220 | DAD3221 | DAD3230 | DAD3231 | DAD3240 | DAD3241 | DAD3350 | DAD3360 | DAD3361 | DAD3430 | DAD3431 | DAD3650 | DAD3651 | DAD3660 | DAD3661 |
| 半自動(dòng) | 半自動(dòng) | 半自動(dòng) | 半自動(dòng) | 半自動(dòng) | 半自動(dòng) | 半自動(dòng) | 半自動(dòng) | 半自動(dòng) | 半自動(dòng) | 半自動(dòng) | 半自動(dòng) | 半自動(dòng) | 半自動(dòng) | 半自動(dòng) | 半自動(dòng) | 半自動(dòng) |
| 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 2 | 2 | 2 | 2 |
| 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
| 490 × 870 × 1,600 | 490 × 870 × 1,670 | 500 × 900 × 1,670 | 490 × 870 × 1,670 | 730 × 900 × 1,670 | 650 × 950 × 1,670 | 650 × 950 × 1,600 | 650 × 950 × 1,670 | 900 × 1,050 × 1,800 | 880 × 1,000 × 1,800 | 880 × 1,000 × 1,800 | 730 × 900 × 1,670 | 730 × 900 × 1,670 | 790 × 790 × 1,890 | 790 × 790 × 1,800 | 1,350 × 1,200 × 1,890 | 1,350 × 1,200 × 1,800 |
| 400 | 420 | 550 | 420 | 600 | 550 | 530 | 550 | 1,200 | 1,100 | 1,100 | 600 | 600 | 1,100 | 1,040 | 1,500 | 1,550 |
