功能齊全，更加*的對應Φ300 mm的切割機
- Φ300 mm
- 對向式雙主軸
- DBG
提高生產效率
采用對向式雙主軸結構以及縮短兩切割刀片軸的間距，提高了生產效率。在Z1軸與Z2軸上同時采用了NCS（ Non-Contact Setup非接觸式測高功能/選配），從而大幅度地減少了因刀片原點測試(set up)而造成的切割中斷時間。
穩定的加工品質
通過采用增強徑向剛性的同步主軸™ ，提高了加工品質的穩定性。另外，可搭載在清洗加工物時可高效發揮清洗效果的特殊選配離心清洗部位水氣二流體清洗機構（技術第3410385號）。
提高操作性能
為了提高更換切割刀片時的操作效率，在該設備上采用了切割刀架罩自動開合機構和主軸鎖定機構。而且通過狀態監視功能，可以掌握加工狀態和各種狀態信息。另外，搭載了切割水流量監視功能，可通過畫面進行切割水流量管理。以及搭載了基于GUI （Graphical User Interface）的可動式LCD觸摸屏。
主軸陣容
標準配置為高剛性的1.2 kW主軸。除此之外，還有采用center thrust結構，進一步提高了剛性的1.8 kW主軸（使用2英寸切割刀片，選配）和2.2 kW主軸（使用3英寸切割刀片，選配），適用于玻璃，陶瓷等加工負載較高材料的加工。
減少占地面積
采用門式結構以及優化晶圓搬運部的布局，實現了小型化。
加工物流程系統
- 取物夾將加工物從晶圓盒中取出，送到預校準臺 →
- 在預校準臺進行中心定位后，下取物手臂將加工物移到工作臺 → 切割 →
- 上取物手臂將加工物移到離心清洗臺 → 清洗和干燥 →
- 下取物手臂將加工物送到預校準臺 →
- 取物夾將加工物送回晶圓盒中
Specifications
| Specification | Unit | 1.2, 1.8 kW | 2.2 kW | |
|---|---|---|---|---|
| Max. workpiece size | mm | Φ300 | ||
| X-axis | Cutting range | mm | 310 | |
| Cutting speed | mm/s | 0.1 ～ 600 | ||
| Y1?Y2-axis | Cutting range | mm | 310 | |
| Index step | mm | 0.0001 | ||
| Positioning accuracy | mm | Within 0.002/310 (Single error) Within 0.002/5 | ||
| Z-axis | Max. stroke | mm | 14.7 (For Φ2 inch blade) | 14.9（For Φ3 inch blade） |
| Moving resolution | mm | 0.00005 | ||
| Repeatability accuracy | mm | 0.001 | ||
| θ-axis | Max. rotating angle | deg | 380 | |
| Spindle | Rated torque | N?m | 0.19（1.2 kW） 0.29（1.8 kW） | 0.7 |
| Revolution speed range | min‐1 | 6,000 ～ 60,000 | 3,000 ～ 30,000 | |
| Machine dimensions(W×D×H) | mm | 1,200 × 1,550 × 1,800 | ||
| Machine weight | kg | Approx. 2,050 | ||
※ 為了改善，機器的外觀，特征，規格等本公司可能在未預先通知用戶的情況下實施變更。
※ 機器的使用條件，請先確認標準規格書。
Product Lineup
| Machine type |
| Spindle |
| C/T |
| Machine dimentions（W × D × H） |
| Machine weight（kg） |
| DFD6240 | DFD6340 | DFD6341 | DFD6362 | DFD6363 | DFD6450 | DFD6560 | DFD6561 | DFD6750 | DFD6760 |
| 全自動 | 全自動 | 全自動 | 全自動 | 全自動 | 全自動 | 全自動 | 全自動 | 全自動 | 全自動 |
| 1 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 |
| 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 2 | 2 |
| 900 × 1,190 × 1,800 | 1,180 × 1,110 × 1,850 | 1,180 × 1,080 × 1,820 | 1,200 × 1,550 × 1,800 | 1,200 × 1,550 × 1,800 | 1,120 × 1,500 × 1,600 | 1,240 × 1,550 × 1,960 | 1,240 × 1,550 × 1,960 | 1,510 × 1,554 × 1,800 | 1,200 × 1,900 × 1,800 |
| 1,200 | 1,600 | 1,500 | 2,050 | 1,800 | 1,400 | 1,640 | 1,500 | 2,200 | 2,800 |
