1. 光柵安裝方式
光柵熱膨脹系數獲得PTB認證，裝配時，一端固定，另一端可隨溫度變化自由伸縮。
2. 光氣動平衡技術
*的氣動平衡技術，采用柔性懸掛系統，加上獲得的阻尼平衡機構，改善了機器的動態特性，并加強了Z軸的安全保障。
3. 整體燕尾型導軌
一體式燕尾形導軌，提高了整機的運行精度。
4. 活動橋式結構
*的活動橋式結構，提供了更開敞的測量空間。
5. 高精密氣浮系統
各軸采用預載荷空氣軸承，消除摩擦力和運行磨損對機器造成的影響，并對現場灰塵不敏感。
6. 標準工藝流程
厚重穩固的整體花崗石工作臺減少了振動帶來的影響，臺面平面度符合DIN876標準。
7. 驅動電機遠程放置
電機遠程放置減少了移動質量,提高了速度，也避免了電機發熱對機器性能帶來的影響。
8. 高精密三角梁技術
精密三角梁TM(TRICISIONTM)式橫梁設計,降低了重心，同時比等寬度軸承跨距的其他形式橫梁的重量輕。
