測量粗糙度和波紋度更容易
功能特點
l 內置超過65種參數,R、P和W形貌*
l 符合ASME/ISO/JIS或MOTIF標準。
l 監察公差和統計所有參數
l 快速建立Quick&Easy測量程序
l 綜合記錄
l 自動功能選取標準符合過濾器和取樣長度
l 根據Ra或Rz的參數規格,支持不同的評定
l 方法(靜態或動態)
l 可調整服務和檢定周期
l 仿真方式使操作員能快速地熟悉儀器
l 有十三種語言選擇
技術參數:
驅動器行程 | 120mm |
測量速度 | 0.1mm/s |
直線度誤差 | 0.3um/120mm |
解析度 | 8nm/5nm(軟件) |
驅動器調節傾斜范圍 | ±1° |
驅動器的高度調節范圍 | 50mm |
測量范圍 | ±250um/±500um(選特定的測針) |
測量壓力 | 0.7mN |
測針尖 | 半徑2um/90° |
測量參數 | 超過40種(75種, 軟件)粗糙度、波度、P-輪廓和圖案參數 |