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15L晶圓刻蝕機(jī)

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱深圳市東信高科自動(dòng)化設(shè)備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)TS-PL15MA
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間 2021-07-21
  • 訪問(wèn)次數(shù)491
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深圳市東信高科自動(dòng)化設(shè)備有限公司始創(chuàng)于1998年,是國(guó)內(nèi)早期批從事真空及大氣低溫等離子體(電漿) 技術(shù)、射頻及微波等離子體技術(shù)研發(fā)、生產(chǎn)銷售于一體的國(guó)家,隸屬于東信高科等離子科技(香港)控股有限公司,總部設(shè)于香港。目前公司設(shè)立有等離子事業(yè)部,超聲清洗事業(yè)部,自動(dòng)化設(shè)備事業(yè)部,塑膠焊接事業(yè)部。產(chǎn)品涵蓋等離子體表面處理,超聲波清洗、電鍍、制冷等領(lǐng)域。為適應(yīng)國(guó)內(nèi)外市場(chǎng)對(duì)等離子體表面處理工藝的需求,東信高科等離子事業(yè)部聯(lián)合德國(guó)等離子體研究等離子研究所,德國(guó)Diener公司實(shí)驗(yàn)室等國(guó)內(nèi)外科研機(jī)構(gòu),投入大量資金,先后研發(fā)出了等離子清洗機(jī)、等離子刻蝕機(jī)、等離子去膠機(jī)、等離子表面處理設(shè)備、電漿清洗機(jī)及常壓等離子打磨、拋光系統(tǒng)等自動(dòng)化設(shè)備。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于包裝、塑料制品、通訊、汽車、家電、光電、紡織、半導(dǎo)體及精密制造等行業(yè),在表面涂裝、表面粘接、表面清潔方面尤為突出。經(jīng)過(guò)近二十年的發(fā)展,不斷革新技術(shù)與產(chǎn)品,成功的推動(dòng)了我國(guó)低溫等離子技術(shù)在等離子體塵埃、晶體、材料合成、微米納米技術(shù)、化工、環(huán)保、表面聚合、表面接枝、表面刻蝕、表面催化、金屬滲氮、化學(xué)合成和氣、液、固態(tài)物質(zhì)處理方面的發(fā)展。公司憑借強(qiáng)大的科研實(shí)力,已成功申請(qǐng)了多項(xiàng)技術(shù)。公司先后與富士康公司、美國(guó)AAC集團(tuán)、愛(ài)普生電子、中國(guó)兵器集團(tuán)、中國(guó)電子科技集、、東南大學(xué)光電實(shí)驗(yàn)室、深圳比亞迪股份有限公司等世界500強(qiáng)公司和研究單位達(dá)成戰(zhàn)略合作協(xié)議,成為上述企業(yè)和單位的超聲波、等離子處理設(shè)備供貨商。公司秉承誠(chéng)信、拼搏、創(chuàng)新的精神理念,以人為本、高效服務(wù)的經(jīng)營(yíng)理念,立足中國(guó),面向,打的等離子表面處理設(shè)備供應(yīng)商和服務(wù)商!
超聲波模具拋光機(jī),超聲波清洗機(jī),水滴角測(cè)量?jī)x
產(chǎn)品簡(jiǎn)介: 晶圓刻蝕
15L晶圓刻蝕機(jī) 產(chǎn)品信息
晶圓刻蝕機(jī)高配版:TS-PL15MA/P

1.真空腔規(guī)格: 材質(zhì)316不銹鋼 L270mm*W280mm*H200mm
2.電極:平板氣浴電極,材質(zhì)6061-T6鋁合金
功率電極:1
接地電極:1
3. 電極尺寸:230mm *230mm(可處理產(chǎn)品尺寸,可處理8寸晶圓)
4. 頻率:13.56MHz
5. 功率:0-300W連續(xù)可調(diào),可在設(shè)備運(yùn)行中隨時(shí)調(diào)整參數(shù)。
6. 氣體控制:MFC質(zhì)量流量計(jì), 0-500ml   2路氣體
7. 真空度測(cè)量?jī)x器: 2色顯示式高精度數(shù)字式壓力開關(guān)(SMC)
8. 控制方式:7寸工業(yè)控制觸摸屏,全手動(dòng)控制和全自動(dòng)控制兩種控制方式
9. 控制軟件功能:界面顯示實(shí)時(shí)工作狀態(tài)
10.設(shè)備規(guī)格尺寸:長(zhǎng)600mm 寬600mm 高700mm
11.電極板配置:配備3個(gè)卡槽位(接地電極),極板間距離可調(diào)整,可按需求調(diào)整極板位置


晶圓刻蝕機(jī)標(biāo)配版:TS-PL15MA

1.真空腔規(guī)格: 材質(zhì)316不銹鋼 L270mm*W280mm*H200mm
2.電極:平板氣浴電極,材質(zhì)6061-T6鋁合金
功率電極:1
接地電極:1
3. 電極尺寸:230mm *230mm(可處理產(chǎn)品尺寸,可處理8寸晶圓)
4. 頻率:13.56MHz
5. 功率:0-300W連續(xù)可調(diào),可在設(shè)備運(yùn)行中隨時(shí)調(diào)整參數(shù)。
6. 氣體控制:精密針閥式浮子流量計(jì), 0-1000ml   2路氣體
7. 真空度測(cè)量?jī)x器: 2色顯示式高精度數(shù)字式壓力開關(guān)(SMC)
8. 控制方式:4.3寸工業(yè)控制觸摸屏,全手動(dòng)控制和全自動(dòng)控制兩種控制方式
9. 控制軟件功能:界面顯示實(shí)時(shí)工作狀態(tài)
10.設(shè)備規(guī)格尺寸:長(zhǎng)600mm*寬600mm*高700mm
11.電極板配置:配備3個(gè)卡槽位(接地電極),極板間距離可調(diào)整,可按需求調(diào)整極板位置

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