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6~8英寸標準型等離子刻蝕機

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱深圳市東信高科自動化設備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號TS-VPK
  • 所  在  地
  • 廠商性質生產廠家
  • 更新時間 2021-07-21
  • 訪問次數430
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深圳市東信高科自動化設備有限公司始創于1998年,是國內早期批從事真空及大氣低溫等離子體(電漿) 技術、射頻及微波等離子體技術研發、生產銷售于一體的國家,隸屬于東信高科等離子科技(香港)控股有限公司,總部設于香港。目前公司設立有等離子事業部,超聲清洗事業部,自動化設備事業部,塑膠焊接事業部。產品涵蓋等離子體表面處理,超聲波清洗、電鍍、制冷等領域。為適應國內外市場對等離子體表面處理工藝的需求,東信高科等離子事業部聯合德國等離子體研究等離子研究所,德國Diener公司實驗室等國內外科研機構,投入大量資金,先后研發出了等離子清洗機、等離子刻蝕機、等離子去膠機、等離子表面處理設備、電漿清洗機及常壓等離子打磨、拋光系統等自動化設備。產品廣泛應用于包裝、塑料制品、通訊、汽車、家電、光電、紡織、半導體及精密制造等行業,在表面涂裝、表面粘接、表面清潔方面尤為突出。經過近二十年的發展,不斷革新技術與產品,成功的推動了我國低溫等離子技術在等離子體塵埃、晶體、材料合成、微米納米技術、化工、環保、表面聚合、表面接枝、表面刻蝕、表面催化、金屬滲氮、化學合成和氣、液、固態物質處理方面的發展。公司憑借強大的科研實力,已成功申請了多項技術。公司先后與富士康公司、美國AAC集團、愛普生電子、中國兵器集團、中國電子科技集、、東南大學光電實驗室、深圳比亞迪股份有限公司等世界500強公司和研究單位達成戰略合作協議,成為上述企業和單位的超聲波、等離子處理設備供貨商。公司秉承誠信、拼搏、創新的精神理念,以人為本、高效服務的經營理念,立足中國,面向,打的等離子表面處理設備供應商和服務商!
超聲波模具拋光機,超聲波清洗機,水滴角測量儀
產品簡介: 標準6~8英寸晶圓片刻蝕機,用于手機、半導體電子等多個行業
6~8英寸標準型等離子刻蝕機 產品信息

產品特點


應用領域:適用于大學、研究院所、企業研發禮構通用的等離子體刻蝕的科研與教學或者小批量量產。

等離子刻蝕方式:RIE反應離子刻蝕或者ICP模式離子刻蝕(根據用戶需求定制)

樣片數量及尺寸:1片φ6英寸、8英寸

刻蝕材料:包括并不限于單晶硅、多晶硅、Si02,Si3N4,Ti,W、聚合物等

刻蝕腔體:高真空系統

刻蝕不均勻性:±3%-+6%

刻蝕速率:0.1-4um/min(視具體材料與工藝)

工作臺:可升降,包含水冷

電源配置:上電極射頻,下電極偏壓,包含自動匹配

氣路數量與種類:6路耐氟基腐蝕氣路或用戶選配

操作模式:PLC+電腦顯示屏,全自動+半自動控制


關鍵詞:工作臺

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