產品特點
產品主要適用于小規模生產/科學實驗
設備開外小巧,結構緊湊,操作簡單容易維護
引進德國核心等離子技術
進口316不銹鋼材質,耐腐蝕
進口針閥精密流量控制計
兩路工藝反應氣體通道
可以根據客戶需求定制
行業應用

基本參數
腔體材質 | 316不銹鋼 |
電源頻率 | 40khz/13.56mhz |
容量(L) | 5L |
功率(W) | 500 |
腔體尺寸(L*W*H)mm | 直徑150*280 |
外形尺寸(L*W*H)mm | 660*700*600 |
真空度 | 30pa-100pa |
氣體流量 | 0-100ml/s |
清洗時間 | 1-100分鐘可調 |
冷卻方式 | 風冷 |
氣體通道 | 兩路工作氣體,O2 , Ar等 |
控制方式 | 人機界面 |
真空腔體溫度 | <50℃ |
真空泵 | 油泵/干泵(可選) |