產(chǎn)品參數(shù)：
| 型號 | 小型等離子清洗機(jī)TS-PL02 |
| 外形尺寸（WxHxD） | 560*600*420 |
| 反應(yīng)腔尺寸 | Φ100x270mm |
| 反應(yīng)腔容量 | 2L |
| 反應(yīng)腔材料 | 進(jìn)口不銹鋼 |
| 真空泵 | 飛越 4L/S |
| 角閥 | 北儀 超高真空40KF |
| 真空顯示規(guī)管 | 松下/SMC ZSE30A |
| 射頻電源 | 美國進(jìn)口 40KHZ 100KHZ 13.56MHZ 2045GHZ |
| PLC系統(tǒng) | 三菱 FX系列 |
| 電氣系統(tǒng) | 施耐德 |
| 觸摸屏 | 松下4.3寸 顯控 |
| 陶瓷封裝 | 進(jìn)口高頻陶瓷 |
| 處理氣體 | O?Ar?N?H?CF |
| 輸出功率F | 0-600W可調(diào) |
小型等離子清洗機(jī)工作原理：
1、激活鍵能-交聯(lián)作用
等離子體中的粒子能量在0~20eV，而聚合物中大部分的鍵能在0~10eV，因此等離子體作用到固體表面后，可以將固體表面的原有的化學(xué)鍵產(chǎn)生斷裂，等離子體中的自由基與這些鍵形成網(wǎng)狀的交聯(lián)結(jié)構(gòu)，大大地激活了表面活性。
2、對材料表面轟擊-物理作用
主要是利用等離子體里大量的離子、激發(fā)態(tài)分子、自由基等多種活性粒子作純物理的撞擊，把材料表面的原子或附著材料表面的原子打掉，不但清除了表面原有的污染物和雜質(zhì)，而且會產(chǎn)生刻蝕作用，將樣品表面變粗糙，形成許多微細(xì)坑洼，增大了樣品的比表面積，提高固體表面的潤濕性能。由于離子在壓力較低時(shí)的平均自由基較輕長，得到能量的累積，因而在物理撞擊時(shí)，離子的能量越高，越是有更多能量作撞擊，所以若要以物理作用為主時(shí)，就必須控制較低的壓力下來進(jìn)行反應(yīng)，這樣清洗效果較好。
3、形成新的官能團(tuán)--化學(xué)作用
化學(xué)作用其反應(yīng)機(jī)理主要是利用等離子體里的自由基來與材料表面做化學(xué)反應(yīng)，壓力較高時(shí)，對自由基的產(chǎn)生較有利，所以若要以化學(xué)反應(yīng)為主時(shí)，就必須控制較高的壓力來近進(jìn)行反應(yīng)。
在化學(xué)反應(yīng)里常用的氣體有氫氣（H2）、氧氣（O2）、甲烷（CF4）等，這些氣體在等離子清洗機(jī)內(nèi)反應(yīng)成高活性的自由基，引入反應(yīng)性氣體，那么在活化的材料表面會發(fā)生復(fù)雜的化學(xué)反應(yīng)，引入新的官能團(tuán)，如烴基、氨基、羧基等，這些官能團(tuán)都是活性基團(tuán)，能明顯提高材料表面活性。
用于材料加工的小型等離子清洗機(jī)中物理過程包括：
（1）將電能轉(zhuǎn)化為工作氣體加熱和電離的能量；
（2）形成產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)所需的基團(tuán)和活性；
（3）動能、動量或質(zhì)量被傳輸?shù)教幚韰^(qū)域或邊界區(qū)域，包括傳輸?shù)诫姌O上；
（4）在恰到的時(shí)候停止或終止反應(yīng)，移走產(chǎn)物；
小型等離子清洗機(jī)的適用范圍：
1、清洗
工藝部件的表面通過等離子束的物理轟擊而被清洗，其表面也可以與特定氣體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)從而被清洗工藝污染物轉(zhuǎn)化為氣相被排出。
應(yīng)用：去除油脂、油、氧化物、纖維；去除硅氧樹脂；綁定、焊接、粘結(jié)前的預(yù)處理；金屬部件涂裝前的預(yù)處理。
適用部件：幾乎所有的材料都能使用等離子進(jìn)行精密清洗，典型的有電子元件；橡膠-金屬連接件；開關(guān)；傳感器；科研植入件；微小部件；O型密封圈；螺旋；激光部件。
2、表面激活
清洗部件在等離子腔體內(nèi)可以通入氧氣或者空氣對其表面進(jìn)行激活，材料表面會形成氧原子團(tuán)，增強(qiáng)表面的粘結(jié)力、結(jié)合力。
應(yīng)用：粘接前的預(yù)處理；涂裝前的預(yù)處理；印刷前的預(yù)處理。
適用部件:幾乎所有材料都能通過等離子被激活，典型有傳感器；半導(dǎo)體材料；導(dǎo)管；車大燈反射鏡；橡膠；鋁鍍膜；石墨膜。
3、蝕刻
部件表面被激發(fā)的工藝氣體蝕刻，通過等離子濺射，轟擊，表面材料被剝離，轉(zhuǎn)變成氣相并被排出，這樣，材料表面的比表面積增大并濕潤，蝕刻效應(yīng)應(yīng)用于印刷、粘接、涂裝前的預(yù)處理以及使材料粗糙化。
應(yīng)用:硅蝕刻；PTFE蝕刻；改善提高耐高溫塑料對于涂料和粘結(jié)劑的附著性，如：PTFE,FPA,FEP；去除光刻膠。
適用部件：塑料；半導(dǎo)體；玻璃；去除部件封裝；科研；電路板。
4、涂層
等離子聚合反應(yīng)，部件被導(dǎo)入等離子反應(yīng)腔，等離子使氣體原子化并使其沉淀在工藝部件的表面。
應(yīng)用：疏水層的沉積；親水層的沉積；保護(hù)或絕緣層的沉積；防擴(kuò)散層。
適用部件：所有的工業(yè)材料；典型的有金屬；玻璃；陶瓷。
售后服務(wù)：
響應(yīng)及時(shí)，在深圳，上海，蘇州，山東，重慶，成都等地均有售后服務(wù)團(tuán)隊(duì)。
供方嚴(yán)格按現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)及技術(shù)規(guī)格要求確保產(chǎn)品性能、質(zhì)量，整機(jī)保修壹年。保修期內(nèi)設(shè)備如出現(xiàn)故障（非人為損壞），乙方安排售后人員跟進(jìn)處理，直至故障排除，（非工作時(shí)間及工作日除外）質(zhì)保期后，供應(yīng)商免費(fèi)提供技術(shù)咨詢及檢修費(fèi)，只收取相關(guān)成本費(fèi)。
