半自動晶圓減薄前貼膜機STK-6020可自動拉膜和貼膜
半自動晶圓減薄前貼膜機STK-6020規(guī)格:
晶圓尺寸:8”& 12”晶圓;
常規(guī)產(chǎn)品厚度:200~750 微米;
Bump 產(chǎn)品厚度:晶圓 200~400 微米;
凸塊 50~200 微米;
晶圓翹曲:≤5mm;
晶圓種類:硅, 砷化鎵或其它;
單平邊,V 型缺口;
膠膜種類:藍膜或者 UV 膜;
寬度:240~340 毫米;
長度:100 米;
厚度:0.05~0.2 毫米;
貼膜原理:防靜電滾輪貼膜;
滾輪溫度:室溫~80 攝氏度;
貼膜動作:自動拉膜和貼膜;
晶圓臺盤:二合一特氟隆防靜電涂層接觸式臺盤,或硅膠臺盤臺盤溫度:室溫~100℃;
裝卸方式:晶圓手動放置與取出;
切割系統(tǒng):*的手動可調(diào)整環(huán)形切刀,適用于不同的晶圓外形,刀頭帶獨立加熱機構(gòu),無任何飛邊并省去修邊;
*的手動直切刀,為省膜的設(shè)計;切割刀溫度:MAX達 150℃;
晶圓定位:通用標(biāo)線/彈簧銷釘;
控制單元:基于 PLC 控制,并帶 5.7”觸摸屏;
安全防護:配置緊急停機按鈕;
電源電壓:相交流電 220V,10A;
壓縮空氣:5 公斤清潔干燥壓縮空氣,流量每分鐘 2.5 立方英尺;
機器外殼:白色噴塑金屬外殼;
體積:670 毫米(寬)*1180 毫米(深)*550 毫米(高);
凈重:85 公斤;
半自動晶圓減薄前貼膜機性能:
晶圓收益:≥99.9%;
貼膜質(zhì)量:沒有氣泡(不包括灰塵顆粒氣泡);
每小時產(chǎn)能:≥ 30~70 片晶圓;
更換產(chǎn)品時間:≤ 5 分鐘
半自動晶圓減薄前貼膜機STK-6020相關(guān)產(chǎn)品:
衡鵬瑞和
半自動LED UV照射機 STK-1020/STK-1050
半自動晶圓減薄后撕膜機 STK-520/STK-5020
高級半自動晶圓撕膜機 STK-5050
手動晶圓切割貼膜機 STK-710
半自動晶圓切割貼膜機 STK-720/STK-7020
半自動基板膜機 STK-7021
Fully Automatic Wafer Mounter STK-7200V
半自動晶圓切割膜貼膜機 STK-750/STK-7050
半自動晶圓減薄前貼膜機 STK-620
高級半自動晶圓減薄貼膜機 STK-650/STK-6050