GRISH CMP拋光液
GRISH CMP拋光液是以硅溶膠為原料,針對不同研磨材料的特性進行*配方設計,保證拋光過程中PH值基本保持不變,從而保證拋光速率的穩定及節約拋光時間。
產品規格:
項目 | SO-80-PF | SO-100-PF | 測試方法 |
粒度(nm) | 70-90 | 90-110 | 激光粒度儀 |
顆粒形貌 | 球形 | 球形 | SEM /TEM |
pH | 10.5±0.5 | 10.5±0.5 | pH計 |
粘度(cps) | <10 | 粘度計 | |
包裝規格 | 500ml、 25Kg、 200Kg |
產品特點:
1. 粒徑均一(粒徑分布窄,形貌呈正球狀);
2. 拋光速率快(特殊配方,PH值穩定不變);
3. 高平坦化(表面質量Ra < 0.2nm, TTV < 3 u);;
4. 循環次數較多;
5. 可低溫拋光 (35℃以下)。
應用范圍:
配合國瑞升拋光墊產品,可廣泛用于多種材料納米級的化學機械拋光。如,藍寶石材料、硅片、不銹鋼、鋁鎂合金、化合物晶體等的拋光加工。